线性红外加热发射器

在光刻工艺中，哪怕温度变化仅半度，也会立刻影响到产品的质量——线宽会出现偏差，成品率也会下降。虽然人们努力让工艺参数符合标准，但烘烤过程中的温度均匀性问题仍然存在，而且颗粒物的产生也会影响洁净室的环境。线性红外加热器则能同时解决这两个问题。 从技术角度来看，其优势在于： 线性红外发射器能够快速、直...