为什么红外固化是处理无铅半导体的最佳方式 说实话，传统的对流式烤箱已经过时了。大多数半导体工厂都开始采用红外固化技术，这是有充分理由的。因为这种技术能够在不降低生产速度的情况下，实现无铅化与环保化的目标。 无需加热空气 想想传统烤箱的工作原理吧：先加热空气，再让空气来加热晶圆。这是一种间接的方式，...

在晶圆厂车间，你会很快发现光刻胶软烘温度漂移0.5°C就会导致临界尺寸（CD）变化，干燥不均匀会留下边缘珠，最终成本远高于灯具本身。当热预算紧张且时间紧迫时，红外加热是合适的选择。 我们的半导体红外加热灯基于短波石英发射器和闭环控制系统。结果是在卡盘范围内实现晶圆级均匀性，温度波动控制在...