无需费力的MEMS晶圆干燥方式
在干燥MEMS传感器晶圆时，需要精心把握平衡点——既要快速去除晶圆上的液体，又不能破坏那些极其微小的结构。长期以来，人们一直使用大型对流式烤箱来烘干晶圆。但说实话，为了烘干一块薄薄的晶圆而加热大量空气实在是一种浪费。因此，我们转而使用短波红外加热灯。这种方式更加高效，同时也能减少洁净室内的碳排放量。
让热量精准作用于关键部位
红外加热的关键在于能量密度。与其让整个腔体都变热，不如将能量直接集中在晶圆表面。这样一来，晶圆上的液体就能在几秒钟内蒸发掉。这样就不必再浪费电能了。不仅处理时间缩短，每块晶圆的用电成本也大大降低。真是高效又便捷。
高效的加热装置
我们使用高纯度石英材质的壳体，因为这种材料能允许紫外线和红外线通过，而不会被阻挡。不过，并非所有晶圆都相同。根据不同的晶圆特性，我们还会在加热灯上添加特殊涂层，以调整其发射光谱。这样就能确保残留物顺利蒸发，同时不会损坏晶圆。此外，我们还使用标准的工业连接器。在维护过程中，最不想做的就是重新连接所有的线路。这些连接器可以直接替换，非常简单。
需要注意的问题及解决方法
虽然短波红外技术很强大，但它也需要一定的操作技巧。必须精确控制传送带的速度以及加热灯的高度。如果晶圆在加热灯下停留的时间过长，就可能导致晶圆变形或受到热应力影响。因此，PLC控制系统必须非常精确，否则就会损坏传感器。
打造“绿色工厂”并非只是口号，而是要摒弃那些高能耗的强制通风式加热器。这样不仅可以减少设备的占地面积，还能有效降低二氧化碳排放量。这对工作效率和环境保护都有好处。