Bảo vệ an toàn khi sử dụng các hóa chất dễ cháy trong quá trình làm sạch wafer
Nếu bạn đang vận hành các dây chuyền làm sạch wafer, bạn chắc hẳn đã biết rằng mình đang làm việc với những hóa chất dễ cháy. Hãy tưởng tượng việc đặt một bóng đèn IR có nhiệt độ cao vào môi trường này điều gì sẽ xảy ra? Đó chính là nguyên nhân gây ra thảm họa.
Đó là lý do tại sao chúng tôi không chỉ đơn giản tạo ra những chiếc bóng đèn thông thường. Chúng tôi thiết kế các hệ thống IR với cấu trúc đặc biệt, nhằm bảo vệ các bộ phận điện tử khỏi tác động của các hóa chất dễ cháy. Về cơ bản, đó chính là lớp bảo vệ giúp ngăn không cho các hóa chất đó tiếp xúc với các đầu nối điện và các bộ phận bằng thạch anh.
Cách hoạt động của lớp bảo vệ
Với các bóng đèn thông thường, chúng thường bị rò rỉ nhiệt và điện ngay tại vị trí kín nước. Trong môi trường hóa chất, những sự rò rỉ này không chỉ gây phiền toái mà còn có thể trở thành nguyên nhân gây cháy nổ.
Để khắc phục điều này, chúng tôi sử dụng vỏ bọc bằng thạch anh được thiết kế để ngăn cách hoàn toàn bộ phận phát nhiệt với không khí bên ngoài. Chúng tôi cũng sử dụng các lớp kín có khả năng chịu đựng được tác động của các hóa chất mạnh, nhờ đó vỏ bọc sẽ không bị nứt vỡ ngay cả khi chịu tác động của nhiệt độ cao.
Chúng tôi cũng không tiết kiệm về chất liệu. Chúng tôi sử dụng thạch anh có độ tinh khiết cao, vì loại này có thể chịu được nhiệt độ cao mà không bị biến dạng. Ngoài ra, chúng tôi còn sử dụng keo công nghiệp để kết nối các bộ phận điện tử lại với nhau. Điều này giúp ngăn chặn việc các khí ăn mòn làm hư hại các dây điện hoặc gây ra tình trạng ngắn mạch, từ đó tránh được nguy cơ cháy nổ.
Đó chính là việc đảm bảo an toàn cho quá trình sản xuất.
Điều chỉnh nhiệt độ đúng cách
Việc đảm bảo nhiệt độ đồng đều trên toàn bộ bề mặt wafer là một thách thức lớn. Nếu một bóng đèn trong hệ thống có nhiệt độ cao hơn các bóng đèn khác, thì sẽ xuất hiện những điểm nóng. Điều này rõ ràng không tốt chút nào.
Đó là lý do tại sao chúng tôi kiểm soát chặt chẽ mức công suất của các bóng đèn. Chúng tôi cũng đảm bảo rằng kích thước của các bóng đèn vừa phải, để chúng có thể được lắp đặt trong các buồng làm sạch có diện tích hạn chế. Vì đây là bức xạ IR trực tiếp, nên các hóa chất trong không khí sẽ không hấp thụ nhiệt. Chỉ có wafer mới hấp thụ nhiệt thôi. Rất đơn giản.
Những điểm cần lưu ý
Việc sử dụng lớp bảo vệ này khiến kích thước của bóng đèn tăng lên một chút. Bạn không thể đơn giản lắp chúng vào các giá đỡ thông thường được.
Trước khi mua, hãy kiểm tra kỹ kích thước của buồng làm sạch. Bạn cũng cần đảm bảo rằng các quạt làm mát có thể đưa nhiệt ra khỏi các bộ phận bị bao bọc bởi lớp bảo vệ. Nếu vỏ bọc giữ quá nhiều nhiệt, các lớp kín bên trong sẽ nhanh chóng bị hỏng.
Một mẹo cuối cùng: hãy kết nối bóng đèn với bộ điều khiển chính xác. Bạn không muốn vượt quá nhiệt độ mong muốn, vì điều đó có thể gây hư hại cho các bộ phận trong hệ thống.