Trong quy trình sản xuất, chất phản ứng ánh sáng rất nhạy cảm với nhiệt độ. Chỉ cần có sự thay đổi nhiệt độ 1°C trong quá trình nung, kích thước của các chi tiết được tạo ra sẽ bị lệch mục tiêu, và khả năng chọn lọc khi tiến hành quá trình etching cũng bị ảnh hưởng. Hãy coi giai đoạn sưởi ấm bằng tia hồng ngoại như một nguồn nhiệt thông thường; nếu không, bạn sẽ gặp nhiều vấn đề. Điều quan trọng là phải duy trì độ ổn định của điện áp để đảm bảo sự đồng đều về nhiệt độ trên toàn bộ bề mặt wafer.
Những yếu tố quan trọng cần lưu ý Chúng ta cần thiết lập bộ điều chỉnh điện áp sao cho công suất phát ra từ đèn luôn ổn định, ngay cả khi điện áp đầu vào thay đổi. Điều này giúp duy trì nhiệt độ của wafer trong khoảng ±0,1°C trên toàn bộ bề mặt. Kết quả là quá trình nung diễn ra một cách ổn định, và chất phản ứng ánh sáng cũng được xử lý một cách chính xác. Môi trường làm việc thuộc loại Class 1–100 đòi hỏi phải kiểm soát chặt chẽ lượng khí thải từ các vật liệu, đồng thời tránh sự xuất hiện của các hạt bẩn trên wafer.
Tại sao điều này lại quan trọng trong quy trình in ấn Độ ổn định về nhiệt độ là yếu tố không thể bỏ qua. Nguồn nhiệt ổn định giúp duy trì dòng chảy của chất phản ứng ánh sáng một cách ổn định, từ đó giúp bảo vệ tính toàn vẹn của lớp màng bảo vệ. Điều này giúp giảm số lần phải làm lại quy trình, đồng thời giúp kiểm soát chính xác kích thước các chi tiết được tạo ra. Việc sử dụng năng lượng cũng được giảm bớt nhờ bộ điều chỉnh điện áp, và thời gian hoạt động của thiết bị cũng được cải thiện nhờ việc loại bỏ các cảnh báo liên quan đến nhiệt độ.
Những gì bạn cần chú ý khi thiết lập hệ thống Bộ điều chỉnh điện áp hoạt động với các nguồn sáng hồng ngoại loại quartz-halogen hoặc sóng ngắn/trung bình. Tuy nhiên, bạn vẫn cần phải điều chỉnh sao cho phù hợp với cấu trúc của đèn và khối lượng nhiệt tại khu vực nung. Việc lắp đặt cần được thực hiện một cách chặt chẽ, kết hợp với hệ thống dây điện và hệ thống phản hồi nhiệt. Sau khi lắp đặt, bạn cần điều chỉnh lại bộ PID để đạt được mức độ ổn định nhiệt độ mong muốn, tức là khoảng ±0,1°C. Hãy tiến hành kiểm tra ngắn để xác nhận rằng mọi thứ hoạt động đúng như mong đợi.