Làm khô các tấm wafer MEMS một cách hiệu quả, không gây rắc rối
Khi làm khô các tấm wafer cảm biến MEMS, bạn phải cân nhắc kỹ lưỡng. Bạn cần loại bỏ chất lỏng trên bề mặt wafer càng nhanh càng tốt – nhưng nếu sử dụng lực nhiệt quá mạnh, bạn sẽ làm hỏng các cấu trúc vi mô tinh xảo trên wafer đó.
Trước đây, người ta thường sử dụng các lò sấy thông thường. Nhưng thực ra, việc làm nóng một lượng không khí lớn chỉ để làm khô một tấm wafer mỏng thật là lãng phí. Đó là lý do tại sao chúng tôi chuyển sang sử dụng các bóng đèn sưởi bằng sóng hồng ngoại ngắn. Đây là phương pháp hiệu quả hơn, đồng thời giúp giảm lượng khí thải carbon trong môi trường sản xuất.
Đưa nhiệt lượng đến đúng vị trí cần thiết
Điểm đặc biệt của sóng hồng ngoại là nó tập trung năng lượng vào một điểm cụ thể. Thay vì làm nóng toàn bộ buồng sấy, chúng tôi tập trung năng lượng vào bề mặt wafer. Nhờ đó, chất lỏng trên bề mặt wafer sẽ bay hơi trong vài giây thôi. Không còn sự lãng phí năng lượng nữa. Thời gian xử lý cũng được rút ngắn, và chi phí điện tiêu thụ cũng giảm đi đáng kể. Đây quả là một phương pháp hiệu quả.
Các thành phần cần thiết để tạo ra nhiệt lượng
Chúng tôi sử dụng các vỏ bọc từ chất thạch anh có độ tinh khiết cao, vì chúng cho phép ánh sáng UV-IR đi qua mà không bị chặn lại.
Nhưng không phải tấm wafer nào cũng giống nhau. Tùy vào loại wafer mà chúng tôi sử dụng, chúng tôi sẽ phủ thêm các lớp phủ đặc biệt lên bóng đèn để điều chỉnh quang phổ phát ra. Đây chính là bí quyết để làm cho chất lỏng trên bề mặt wafer bay hơi mà không làm hỏng wafer.
Ngoài ra, chúng tôi còn sử dụng các công tắc kết nối tiêu chuẩn trong ngành công nghiệp. Điều này giúp việc bảo trì trở nên dễ dàng hơn. Bạn không cần phải thay đổi toàn bộ hệ thống dây điện nữa. Chỉ cần thay thế các bộ phận cần thiết là được.
Những thách thức và cách khắc phục
Sóng hồng ngoại ngắn không phải là phép màu; nó chỉ là công cụ mạnh mẽ mà thôi. Vì vậy, bạn cần phải kiểm soát chính xác tốc độ di chuyển của wafer và độ cao của bóng đèn. Nếu wafer ở dưới ánh sáng của bóng đèn quá lâu, nó sẽ bị nóng quá mức hoặc bị biến dạng. Hệ thống PLC cần được điều chỉnh chính xác để tránh tình trạng này.
Việc chuyển sang sử dụng các công nghệ xanh không chỉ là một xu hướng, mà còn là cách để giảm lượng năng lượng tiêu thụ. Bạn sẽ có ít thiết bị hơn, và lượng khí CO2 thải ra cũng giảm đi đáng kể. Đây quả là một lợi ích lớn cho cả quy trình sản xuất lẫn môi trường.