Sınıf 100 temiz oda koşullarını gerçekten korumak
Silikon wafları ısıttığınızda, sadece sıcaklık değil, başka faktörler de önemlidir. Sınıf 100 ortamında, tek bir toz parçası bile ciddi bir tehdit oluşturabilir; bu toz parçası saniyeler içinde tüm çipleri yok edebilir.
İşte bu yüzden geleneksel direnç tipi ısıtıcıları kullanmayı bıraktık. Bu tür ısıtıcılar parça üretir ve “gaz salınımı” yapar; bu da saflık açısından büyük bir sorundur. Bunun yerine yüksek saflıklı kuvars IR lambaları kullanıyoruz. Bu, çok daha temiz bir çalışma yöntemidir.
Sır kuvarstadır.
Bu lambalar için sentetik silis kullanıyoruz. Bu malzeme, sıcaklık değişimleri sırasında bozulmaz ve safsızlık üretmez. Sadece orada durur ve işlevini yerine getirir.
Ayrıca kısa dalga boylu IR ışınları kullanıyoruz. Böylece ısı hızla wafer yüzeyine ulaşır ve enerji boşa harcanmaz.
Doğru özellikleri seçmek
Bu lambalar yüksek güç yoğunluğu için tasarlanmıştır. Lambaların yanmasını önlemek için halojen dolgulu sistemler kullanıyoruz. Bu sayede tungsten filamenti çok hızlı buharlaşmaz ve lambanın iç kısmı temiz kalır; böylece lambanın ömrü uzar. Sonuç olarak, tüm wafer üzerinde düzenli ve güvenilir bir ısı dağılımı elde edilir.
Ancak burada dikkat edilmesi gereken bir nokta var: Sızdırmazlıklar mükemmel olmalıdır. Her şeyin gazsız kalması için hassas şekilde işlenmiş kapaklar kullanıyoruz. Eğer sızdırmazlık bozulursa, oksijen içeri girer ve filament anında yanar. Mühendislerin ucuz ve standart dışı bağlantı elemanları kullanarak para tasarrufu yapmaya çalışması sonucunda bunun sıkça yaşandığını gördüm. İnanın bana, önerilen toleranslara uyun; bu sizin başınızı ağrıtmayacaktır.
Kendi sisteminizde kullanmak
En iyi yanı, lambaların hemen ısınmasıdır. Aletin ısınmasını beklemek zorunda kalmazsınız; bu da işlerinizi hızlandırır.
Ancak soğutma sistemine dikkat etmelisiniz. Çünkü bu lambalar çok fazla ısı üretir; bu yüzden soğutma sistemlerinin yeterli olması gerekir. Eğer hava akışı yetersizse, aletin yapısı bozulabilir veya sensör kabloları zarar görebilir.
Bu lambalar, çoğu standart aletin yerine kullanılabilir; bu yüzden değiştirmesi kolaydır. Bir uyarı: Güç kaynağınızın başlangıçtaki yüksek akımı karşılayabileceğinden emin olun. Halojen IR lambaları, anahtarı açar açmaz hemen yüksek güç üretir.