Aşağıda, “Yumuşak” sınıflandırma terimini kullanan sayfaları bulacaksınız. Fotoğraf direnç yumuşak pişirme sıcaklığı IR Lithografi katında, sadece 2°C sapma gösteren bir soft bake, fotoresist termal bütçesini bozabilir. Solvent tutulumu artar. CD (kritik boyut)... Read more...
Fotoğraf direnç yumuşak pişirme sıcaklığı IR Lithografi katında, sadece 2°C sapma gösteren bir soft bake, fotoresist termal bütçesini bozabilir. Solvent tutulumu artar. CD (kritik boyut)... Read more...
