Wafer aracı için sıcaklık sensörü
Sınıf 100 temiz oda koşullarını gerçekten korumak
Silikon wafları ısıttığınızda, sadece sıcaklık değil, başka faktörler de önemlidir. Sınıf 100...
Fotoğraf direnç yumuşak pişirme sıcaklığı IR
Lithografi katında, sadece 2°C sapma gösteren bir soft bake, fotoresist termal bütçesini bozabilir. Solvent tutulumu artar. CD (kritik boyut)...