Uçucu kimyasalları ısıtırken güvenliği sağlama
Eğer wafer temizleme hatları kullanıyorsanız, zaten bunun ne anlama geldiğini biliyorsunuz: Yanıcı kimyasal buharlarla çalışıyorsunuz demektir. Şimdi de yüksek sıcaklıklı bir IR lambasını bu karışıma eklediğinizi hayal edin. Bu, felaketin habercisidir.
İşte bu yüzden biz sadece “lambalar üretmiyoruz”. IR sistemlerimizi özel bir kaplamayla üretiyoruz. Bu kaplama, bu zararlı buharların elektrik terminallerinden ve sıcak kuvars malzemeden uzak kalmasını sağlayan bir koruma katmanıdır.
Koruma mekanizması nasıl çalışır?
Standart lambalarda sorun şu ki, ısı ve elektrik enerjisi genellikle kaplamanın zayıf olduğu yerlerden sızar. Kimyasal ortamlarda bu tür sızıntılar sadece rahatsız edici değil, aynı zamanda yangına yol açabilecek tehlikeli durumlardır.
Bunu çözmek için hermetik olarak kapatılmış kuvars kutular kullanıyoruz. Bu sayede ısıtıcı eleman hava ile tamamen izole edilir. Ayrıca, agresif kimyasallara dayanıklı kaplamalar da kullanıyoruz; böylece kaplama termal şoklara maruz kaldığında çatlamaz.
Malzeme konusunda da titiz davranıyoruz. Yüksek saflıkta kuvars kullanıyoruz; çünkü bu malzeme waferleri hızlıca kurutmak için gerekli olan yüksek sıcaklıklara dayanabilir. Ayrıca, elektrik bağlantılarını endüstriyel kalitede reçinelerle kaplıyoruz. Böylece aşındırıcı gazların kabloları tahrip etmesini veya yangına neden olacak kısa devrelerin oluşmasını engelliyoruz.
Bu, huzur içinde çalışmak demektir.
Doğru sıcaklığı elde etme
Bir wafer üzerinde eşit bir sıcaklık profili elde etmek oldukça zordur. Eğer lambalardan biri diğerlerinden biraz daha fazla ısınırsa, sıcak noktalar oluşur. Bu pek ideal değildir.
İşte bu yüzden wattaj toleranslarımızı son derece düşük tutuyoruz. Ayrıca, lambaların boyutlarını da küçük tutuyoruz ki dar temizleme odalarına sığabilsinler. Doğrudan IR radyasyonu olduğu için havadaki kimyasallar ısıyı emmez; wafer emer. Basit.
Ters tarafı nedir?
Bu seviyedeki kaplama, lambanın hacmini biraz artırır. Bu lambaları standart açık alanlara yerleştirmek mümkün değildir.
Satın almadan önce odanızın boşluğunu mutlaka kontrol edin. Ayrıca, soğutma fanlarının bu kaplanmış bölümlerden ısıyı uzaklaştırıp uzaklaştırmadığından da emin olmalısınız. Eğer kutu çok fazla ısı biriktirirse, içindeki kaplamalar çok daha hızlı aşınır.
Son bir ipucu: Lambayı hassas bir kontrol cihazına bağlayın. Hedef sıcaklığı aşmak ve işinizi zarara uğratmak istemezsiniz.