Het behouden van de veiligheid bij het verhitten van vluchtige chemicaliën
Als je werkt met lijnen voor het reinigen van wafers, weet je vast al hoe gevaarlijk dit kan zijn: je hebt te maken met ontvlambare chemische dampen. Stel je nu voor dat je er een IR-lamp met hoge temperatuur bij doet… Dat is een recept voor een ramp.
Daarom maken we geen gewone lampen. Onze IR-systemen worden gebouwd met een speciaal type afsluiting. Het gaat om een soort ‘schild’ dat de schadelijke dampen beschermt tegen de elektrische contactpunten en het hete kwarts.
Hoe de afsluiting werkt
Bij standaardlampen lekt er vaak warmte en elektriciteit door de afsluitingen heen. In een chemisch milieu zijn deze lekken niet alleen storend, maar ze kunnen ook brand veroorzaken.
Om dit op te lossen, gebruiken we een hermetisch afgesloten kwartshuisje. Hierdoor wordt de verwarmer volledig afgeschermd van de lucht. We gebruiken ook afsluitingen die bestand zijn tegen agressieve chemicaliën, zodat het huismiddel niet meteen barst zodra er sprake is van thermische schokken.
We sparen ook niet op materiaalkwaliteit. We gebruiken hoogwaardig kwarts, omdat dit materiaal de hoge temperaturen kan verdragen zonder te vervormen. Bovendien worden de elektrische verbindingen beschermd door industriële harsen. Dit voorkomt dat corrosieve gassen de draden beschadigen of dat er een kortsluiting optreedt die tot brand kan leiden.
Het gaat om rust in je hoofd.
Het juiste temperatuurniveau bereiken
Het is moeilijk om een gelijkmatige temperatuur over de hele wafer te krijgen. Als één lamp iets warmer is dan de anderen, ontstaan er hete plekken. Dat is natuurlijk niet ideaal.
Daarom houden we de toleranties rondom de vermogenswaarden zeer strikt. We proberen ook de afmetingen van de lampen zo klein mogelijk te houden, zodat ze in de beperkte ruimtes van de reinigingskamers passen. Omdat het om directe IR-straling gaat, worden de chemicaliën in de lucht niet verwarmd. Alleen de wafer wordt verwarmd. Simpel.
De nadelen (de eerlijke kant)
Een dergelijke afsluiting maakt de lamp wat groter. Je kunt ze niet zomaar in een standaard houder plaatsen.
Voor je koopt, moet je eerst controleren of er genoeg ruimte is in de kamer. Je moet er ook zeker van zijn dat de koelpompen de hitte wegkunnen halen uit de lampen. Als het huismiddel te veel hitte vasthoudt, zullen de interne afsluitingen sneller slijten.
Een laatste tip: sluit de lampen aan op een precisiecontroller. Je wilt immers niet te ver boven de gewenste temperatuur komen, anders kan dat schade toebrengen aan je producten.