Op de productielijn is photoresist gevoelig voor temperatuurschommelingen. Een verschil van 1°C tijdens het verhitten heeft invloed op de nauwkeurigheid van de afmetingen van het product. Bovendien wordt ook de selectiviteit bij het eten van het materiaal beïnvloed. Behandel de IR-verwarmer als een gewone warmtebron – dat leidt tot problemen. De stabiliteit van de spanning van de lamp is juist wat zorgt voor een constante temperatuur op het wafer.
Wat belangrijk is We specificeren een spanningregelaar voor de IR-verwarmer, zodat de uitgangsspanning van de lamp constant blijft, zelfs wanneer de netspanning fluctueert. Hierdoor blijft de temperatuur op het wafer binnen ±0,1°C. Dit zorgt voor consistente resultaten bij het verhitten van het materiaal, en de oplossing van de fotoresist blijft op de juiste plek. In een cleanroom van klasse 1–100 is het belangrijk om materialen te gebruiken die weinig gas uitstoten, zodat er geen deeltjes op het wafer terechtkomen.
Waarom dit belangrijk is in de litografie Een stabiele temperatuur is essentieel. Een stabiele IR-straal zorgt voor een consistente stroming van de fotoresist en behoudt de integriteit van het etmasker. Hierdoor zijn er minder herwerkingsprocedures nodig. U verkrijgt dus consistente resultaten, met een betere controle over de afmetingen van het product. Ook neemt het energieverbruik af, omdat de regelaar ongewenste schommelingen voorkomt. De beschikbaarheid van de apparatuur neemt toe, omdat er geen alarmen meer optreden bij kleine temperatuurschommelingen.
Wat u moet doen De regelaar werkt met standaard kwarts-halogeen- en kort/middengolf-IR-bronnen. U moet echter nog steeds rekening houden met de geometrie van de lamp en de thermische massa’s in het systeem. Na de installatie moet de PID-loop nog worden afgesteld, zodat u de gewenste nauwkeurigheid van ±0,1°C bereikt. Voer eerst een korte test uit om het optimale profiel voor uw fotoresist te bepalen.