Hentikan Penggunaan Ozone dalam Proses Pembuatan Semikonduktor
Mari kita akui: membersihkan kawasan sekitar peralatan merupakan bahagian paling sukar dalam proses pembuatan semikonduktor. Dalam industri ini, kita semua berusaha untuk mengurangkan pelepasan gas berbahaya hingga ke tahap sifar. Namun, jika anda menggunakan lampu IR atau ketuhar konveksi biasa, anda pasti akan menghadapi masalah ini. Lampu-lampu tersebut menghasilkan sinar berfrekuensi 185-254nm, yang seterusnya menukar udara di bilik bersih menjadi “kilang pengeluaran ozon”.
Ozon merupakan bahan berbahaya yang boleh merosakkan litar elektronik. Ia juga memaksa sistem HVAC bekerja lebih keras untuk memastikan udara tetap layak untuk dihirup. Ini merupakan masalah yang perlu diselesaikan secara berterusan.
Menghapuskan Ozon dari Sumbernya
Kami memutuskan untuk tidak hanya merawat gejala tersebut, tetapi juga menyelesaikan masalah asalnya. Dengan menggunakan penapis kuarza khusus dan mengawal suhu filamen dengan teliti, kami dapat mengubah spektrum pancaran cahaya tersebut. Dengan cara ini, pancaran VUV dapat dihilangkan sepenuhnya.
Hasilnya? Anda masih mendapat haba yang diperlukan untuk mengeringkan bahan-bahan tertentu, tetapi tiada lagi bahan kimia berbahaya yang terhasil. Ini merupakan proses yang lebih bersih, kerana ia direka sedemikian dari awal, bukan kerana kita menggunakan penapis mahal pada akhir proses.
Haba yang Diperlukan di Tempat yang Tepat
Pemanasan konveksi ibarat cuba memanaskan satu biji kacang dengan memanaskan seluruh dapur. Ini merupakan pembaziran tenaga.
Lampu IR pula berbeza. Ia memberikan haba secara langsung pada bahan yang diproses. Prosesnya sangat cepat. Ini bermakna stesen pengeringan dapat dibuat lebih kecil. Namun, perlu berhati-hati kerana lampu IR yang berintensiti tinggi boleh merosakkan bahan yang nipis jika tidak digunakan dengan betul. Anda perlu menyesuaikan kelajuan konveyor dan jarak antara lampu agar mendapatkan hasil yang diinginkan tanpa merosakkan bahan tersebut.
Cara Penggunaannya
Yang terbaik ialah menggunakan lampu ini sebagai pengganti lampu lama. Anda tidak perlu mengubah susunan kabel di seluruh fasiliti; lampu ini boleh beroperasi menggunakan bekalan kuasa industri yang sedia ada.
Oleh kerana anda tidak perlu lagi berhadapan dengan masalah ozon, badan lampu tersebut tidak perlu diperbuat daripada bahan yang tahan korosi dan mahal. Ini dapat menjimatkan kos pembelian komponen tersebut dari masa ke masa.
Sila pastikan aliran cahaya dari reflektor sentiasa tepat setiap enam bulan sekali. Ia hanya memerlukan masa satu minit sahaja, namun ia dapat memastikan haba yang dihasilkan adalah seragam di seluruh permukaan wafer.