포토레지스트 소프트 베이크 온도 IR

리소그래피 라인에서, 2°C 차이만으로도 소프트 베이크가 포토레지스트의 열적 허용 범위를 크게 벗어나게 된다. 솔벤트 잔류가 증가하고, CD(크리티컬 치수) 균일성에 영향을 준다. 이 차이가 양품과 스크랩을 가르는 경계다. 당사는 이러한 변동성을 제거하기 위해 적외선...