오존이 없는 적외선 램프

제조 공정에서 오존 문제를 그만 해결해 봅시다. 솔직히 말해서, 장비를 사용한 후에 발생하는 오염물질을 처리하는 것이 가장 힘든 부분입니다. 반도체 제조 과정에서는 모두 ‘제로 배출’을 목표로 합니다. 하지만 일반적인 IR 램프나 대류식 오븐을 사용한다면, 공기 중에...