생산 현장에서 SRD 공정은 매우 빠르고 강력한 처리 과정입니다. 즉, 세척, 건조, 유지보수의 단계가 순차적으로 이루어집니다. 만약 적외선 램프의 성능이 저하된다면, 즉시 알 수 있습니다. 웨이퍼에 스트라이프가 생기거나, 입자가 발생하며, 포토레지스트의 품질도 몇 시간 후에야 문제가 드러납니다. 저희는 SRD 적외선 램프를 7×24시간 연속 작동해도 성능이 저하되지 않도록 설계했습니다.
중요한 것은 짧은 파장의 적외선을 사용한다는 점입니다. 이 램프는 빠르게 반응하는 석영 소재를 사용하여 구동됩니다. 반응 시간은 1초 미만이며, 웨이퍼 전체에 균일한 온도가 유지됩니다. 건조 단계에서는 웨이퍼의 온도가 ±0.1°C로 유지되어, 소프트 베이크와 하드 베이크 과정 후에도 포토레지스트의 품질이 유지됩니다. 이 램프는 1–100등급의 환경에서도 잘 작동하며, 입자가 발생하지 않습니다. 밀폐된 구조 덕분에 가스나 오염물질이 유입되지 않습니다. 최대 5,000시간 이상 연속적으로 사용해도 성능이 5% 이하로만 저하되며, 예기치 않은 고장도 발생하지 않습니다.
SRD는 열 관리가 매우 중요합니다. 빠르게 가열하고 건조시킨 후 다시 반복해야 합니다. 이 램프는 건조 시간을 줄여주며, 웨이퍼에 얼룩이 생기지 않도록 해줍니다. 온도 프로파일이 일관되므로 반복 작업 시에도 성능이 일정하게 유지됩니다. 에너지 소비도 줄어듭니다. 빠른 반응 속도와 효율적인 결합 덕분에 최고 부하가 줄어듭니다. 램프 교체 횟수가 줄어들어 유지보수가 줄어들고, 생산 라인의 가동률이 높아집니다.
몇 가지 실용적인 팁입니다. 램프는 SRD 챔버의 구조와 컨트롤러의 방사율 보정 기능과 호환되어야 합니다. 반사판이 제대로 작동하지 않거나, 온도 측정값이 정확하지 않으면 설정된 온도가 변합니다. 통합 과정에서 기계적 인터페이스와 냉각 경로를 잘 계획해야 하며, 용매나 산성 환경과의 호환성도 확인해야 합니다. 정확한 정렬과 보정이 이루어진다면, 매일 같은 성능으로 작동할 것입니다. 예외는 없습니다.