ファブIR用電圧レギュレータ
ファブ内では、フォトレジストは温度に敏感な素材です。ソフトベイクやハードベイク時の温度変動が1°Cでもあると、重要な寸法が目標値から外れてしまい、エッチングの選択性も低下します。IR加熱装置を単なる熱源として扱ってはいけません。実際にウェーハ全体で均一な温度を実現するためには、ラムプの電圧を安定さ...
タングステンフィラメント石英ランプ
ファブの現場では、フォトレジストの熱特性が、線幅を安定させるために重要な要素となります。もしソフトベイクのプロファイルが不安定になると、レジストの厚みが乱れ、エッチングを行う前にすでに寸法制御が失われてしまいます。私たちは、このようなばらつきを解消するために、タングステンフィラメントを使用したクォ...
ウェーハ水分除去ランプ
リソグラフィーの工程では、表面に付着しているわずかな水分が、ソフトベイクの工程を妨げることがあります。露光装置を使う前から、フォトレジストの厚みやCDの品質が乱れてしまいます。ホットプレートでは、ウェーハの裏面が過度に加熱されないようにしながら、迅速に水分を除去するのが難しく、その結果、パターンに...
直線型赤外線加熱エミッター
リソグラフィーの工程では、わずか0.5度程度の温度変動でもすぐに問題が発生します。つまり、線幅のばらつきや歩留まりの低下が起こります。目標値を達成しようとしても、ウェーハ全体の均一性を保つのは難しく、また微粒子の発生によってクリーンルーム内の環境も悪化します。一方、線形赤外線加熱器は、これらの問題...
炭素結晶ヒーター
シャワーを出て、湿っていて冷たいバスルームに入ると、不快なだけでなく、体が乾いた後も長い間震え続けることになります。バスルームは狭く、均等に暖めるのが難しいです。適切でないヒーターを使うと、エネルギーが無駄になったり、寒い場所ができたりして、湿度の高さがさらに不快に感じられます。私たちは、この問題...
石英電気ヒーター
寒い冬には、屋外での作業や家の中で暖を取る際に、効率的で実用的な暖房機器があればと思います。今日は、屋外用電化製品に詳しい私が、高く評価されている暖房機器である「クォーツヒーター」をご紹介します。
つまり、これはクォーツ管を利用して熱を発生させる暖房機器です。大きな利点は、すぐに温度が上がり、熱効...
デスク用個人用ヒーター
冷たい手や、なかなか暖まらない部屋は、集中力を妨げます。一般的なヒーターは単に空気を循環させるだけで、あなたが待っている間も、部屋の隅々は温まりません。一方、個人用の赤外線ヒーターは、実際に重要な部分、つまりあなた自身を温めてくれます。
内部構造 このデスクサイズの装置は、短波赤外線素子を中心に作...
赤外線ウォールヒーター
温かいバスルームは、大きな家でしか得られないものではありません。狭い空間では、容量の大きすぎるヒーターはエネルギーを無駄にしてしまいます。一方、広めの部屋でも、容量が小さすぎると床が冷たくなったり、鏡が曇ったりします。実用的な解決策は、部屋の面積に合った出力の赤外線壁掛けヒーターを選ぶことです。そ...
窒化ガリウム GaN MOCVDヒーター
製造現場において、歩留まりは温度に左右されます。GaNエピタキシャル成長時にMOCVDヒーターの温度が0.5℃変動するだけで、ウェーハの厚みの不均一性や不良品の発生、目標とする成長条件の達成不能などが起こります。私たちは、このような変動を排除するために、独自のGaN MOCVD用赤外線ヒーターを開...
WiFi対応の電気ヒーター
想像してみてください。照明が暗く、スクリーンからは温かい光が放たれ、ホームシアターがあなたをその世界に引き込んでくれます。しかし、暖房が作動すると、強制的に空気を循環させる装置から風が吹き出し、静けさが破壊されてしまいます。会話の声が背景の音にかき消され、苦労して築き上げた没入感も台無しになってし...
商用パティオヒーター
寒い夕方に賑わうパティオに足を踏み入れると、赤外線の温かさがなくなった瞬間にその違いを感じます。雰囲気が一気に悪くなります。来客は震え始め、スタッフは急いで対処しようとします。こういう状況では、信頼性は単なる望ましい要素ではなく、ビジネス上不可欠なものです。
技術的に重要な点 商用用のパティオヒー...
パーティションヒーター
寒い朝は、オフィスの空気が肌に感じると違ってきます。座って、中央暖房が効くのを待っていると、集中力が失われてしまいます。キュービクルヒーターは、その状況を変えます。なぜなら、部屋全体を暖めるのではなく、あなたの座っている場所を直接暖めるからです。
我々がこれを基にした理由 ここでは、石英赤外線素子...
フォトレジストソフトベイク温度 IR
リソグラフィー現場での技術的な重要性 ソフトベイクで2℃の変動があると、フォトレジストの熱バジェットが乱れます。溶剤保持が増加し、CDの均一性が損なわれます。この違いは良品ロットと廃棄物の境界線です。我々はこの変動を排除するために赤外線ソフトベイクモジュールを開発しました。
技術的に重要な点 IR...
ERP対応ヒーター
冬の夕方は、電気代の上昇を気にしながら暖を取るという綱引きのような状況になりがちです。標準的なオイルフィルドラジエーターの場合、空気が温まるまで待つ必要がありますが、熱の大半は上昇して消散してしまい、体感できる暖かさは不十分です。部屋は寒く感じてもサーモスタットは正常を示し、電力量計は刻々と進みま...
ファンアウトウェーハレベルパッケージングヒーター
FO-WLPラインにおける温度変動 FO-WLPラインでは、リフローおよび封止中の温度変動は劇的な故障として現れません。微妙な変形のシフト、数マイクロメートルのダイシフト、ソフトベーク後のフォトレジストプロファイルのゆっくりとしたドリフトとして現れます。その結果、歩留まりが損なわれ、熱バジェットを...