حفظ ایمنی هنگام گرم کردن مواد شیمیایی فرار
اگر در خطوط تمیزکاری ویفرها کار میکنید، میدانید که با بخارات شیمیایی قابل اشتعال سروکار دارید. حال تصور کنید که یک لامپ IR با دمای بالا را نیز به آن مخلوط اضافه کنیم؛ این کار منجر به فاجعه خواهد شد.
به همین دلیل، ما صرفاً لامپ تولید نمیکنیم؛ بلکه سیستمهای IR خود را با استفاده از روشهای خاصی ساختاربندی میکنیم. این روش در واقع یک سپر است که مانع از رسیدن بخارات شیمیایی به ترمینالهای الکتریکی و قطعات گرم قرار میگیرد.
نحوه عملکرد این سپرها
لامپهای استاندارد دارای مشکلاتی هستند؛ آنها گرما و الکتریسیته را در نقاط اتصالاتشان نشت میدهند. در محیطهای شیمیایی، این نشتها تنها مشکلات کوچکی نیستند؛ بلکه میتوانند منشأ اشتعال باشند.
برای رفع این مشکل، از جعبههای کوارتزی با درزبندی کامل استفاده میکنیم؛ این جعبهها اتصالات الکتریکی را کاملاً از هوا جدا میکنند. همچنین از درزبندیهایی استفاده میکنیم که در برابر مواد شیمیایی مقاوم باشند؛ تا جعبه در برابر شوکهای حرارتی آسیب نبیند.
ما همچنین از مواد با کیفیت بالا برای ساخت لامپها استفاده میکنیم؛ زیرا کوارتز با کیفیت بالا میتواند گرمای لازم برای خشک کردن ویفرها را تحمل کند، بدون اینکه ویفرها تغییر شکل دهند. همچنین، اتصالات الکتریکی را در رزینهای صنعتی قرار میدهیم؛ تا گازهای خورنده نتوانند سیمها را خراب کنند یا باعث قطعی در سیستم شوند.
هدف، ایجاد آرامش ذهنی است.
تنظیم دما به درستی
تنظیم دمای یکنواخت بر روی سطح ویفر کار دشواری است؛ اگر یکی از لامپها حتی کمی گرمتر از بقیه عمل کند، نقاط گرمی ایجاد خواهد شد. این وضعیت مناسب نیست.
به همین دلیل، ما میزان تفاوت دمای لامپها را تا حد ممکن کاهش میدهیم. همچنین، اندازه لامپها را کوچک نگه میداریم تا بتوانند در فضاهای محدود محل تمیزکاری قرار بگیرند. از آنجایی که این لامپها از تابش IR مستقیم استفاده میکنند، مواد شیمیایی موجود در هوا نمیتوانند گرما را جذب کنند؛ فقط ویفرها گرما را جذب میکنند. ساده است.
معایب استفاده از این لامپها
باید بگوییم که این سطح از درزبندی باعث میشود لامپها کمی بزرگتر شوند؛ نمیتوان آنها را در قابهای معمولی قرار داد.
قبل از خرید، حتماً فاصله موجود در فضای محل تمیزکاری را بررسی کنید؛ همچنین باید مطمئن شوید که فنهای خنککننده، گرما را از انتهای لامپها دور میکنند. اگر جعبه لامپ گرمای زیادی را در خود نگه دارد، درزبندیهای داخلی آن خیلی سریع خراب خواهند شد.
نکته آخر: لامپها را به یک کنترلکننده دقیق متصل کنید؛ نمیخواهید دمای لامپ از حد مشخص شده فراتر رود و باعث خرابی کار شود.