دیگر ابزارهای نیمههادی خود را به فر تبدیل نکنید!
لامپهای مادون قرمز استاندارد دارای مشکلی هستند؛ آنها گرما را در تمام جهات پخش میکنند. وقتی که این لامپها را در یک محفظه فرآوری قرار میدهیم، این پخش ۳۶۰ درجهای گرما، مشکلات زیادی ایجاد میکند.
بخش عمدهای از این انرژی حتی به ویفر برخورد نمیکند؛ بلکه به دیوارههای داخلی محفظه برخورد میکند. در واقع، این کار باعث میشود کل ساختار دستگاه به یک رادیاتور عظیم تبدیل شود. نتیجه این است که دیوارههای خارجی دستگاه آنقدر گرم میشوند که میتوانند اپراتور را آسیب بزنند؛ همچنین سیستمهای خنککننده نیز مجبورند برای حفظ عملکرد دستگاه، تلاش زیادی انجام دهند.
راهحل بهتر:
ما این مشکل را با قرار دادن یک لایه نازک از طلا روی نیمه پشتی غلاف کوارتزی، حل میکنیم. میتوان آن را مانند یک آینه با کارایی بالا برای نور مادون قرمز در نظر گرفت.
به جای اینکه گرما به سمت پشت محفظه سرریز شود، طلا آن را دوباره به سمت جلو بازمیگرداند. در نتیجه، پرتو گرمایی متمرکزی به دقت به همان محلی که لازم است، ارسال میشود. این کار باعث میشود که اثر “فر” درون دستگاه کاملاً از بین برود.
تأثیرات مثبت این روش:
وقتی که از پخش گرما در سراسر دستگاه جلوگیری میشود، ساختار دستگاه نیز استراحت میکند. دیگر نیازی نیست سیستمهای خنککننده پیچیدهای طراحی کنید یا فنهای بزرگی نصب کنید تا دیوارههای دستگاه ایمن باشند. این روش باعث میشود کل سیستم حرارتی دستگاه سادهتر و کارآمدتر شود.
نکاتی که باید در نظر گرفت:
البته، یک مشکل وجود دارد؛ چون گرما را در یک نقطه متمرکز میکنیم، چگالی گرما در سطح هدف افزایش مییابد. بنابراین باید مطمئن شوید که سطح مورد نظر میتواند این فشار اضافی را تحمل کند، بدون اینکه تغییر شکل دهد یا لکههایی روی آن ایجاد شود.
همچنین، اگر لامپهای استاندارد را با لامپهای پوشیده از طلا جایگزین میکنید، باید مراقب تنظیمات PID دستگاه باشید. این لامپها خیلی سریع گرم میشوند؛ اگر تنظیمات کنترلکنندهها صحیح نباشد، ممکن است دمای دستگاه بیش از حد افزایش یابد.
نکته آخر: از سیمهای با دمای بالا استفاده کنید و آینههای مربوطه را کاملاً تمیز نگه دارید. کمی گرد و غبار روی طلا میتواند منجر به ایجاد نقاط گرم شود؛ این امر میتواند عمر لامپ را کوتاه کند.