لطفاً، دیگر با ازن مبارزه نکنید!
بیایید صادقانه بگوییم: تمیز کردن فضای اطراف تجهیزات، بدترین بخش این کار است.
در تولید نیمههادیها، همگی سعی میکنیم که هیچ گونه آلایندهای تولید نشود. اما اگر از لامپهای معمولی IR یا فرهای حرارتی استفاده کنید، احتمالاً متوجه مشکلاتی شدهاید. این لامپها در بازه طول موج ۱۸۵ تا ۲۵۴ نانومتر عمل میکنند؛ در نتیجه، هوای موجود در اتاقهای پاک، به یک کارخانه تولید ازن تبدیل میشود.
ازن واقعاً مشکلساز است؛ زیرا باعث خراب شدن مدارهای الکترونیکی میشود و مجبور میکند که سیستمهای تصفیه هوا بیشتر کار کنند تا هوا قابل تنفس باقی بماند. این یک مبارزه مداوم است.
ریشهکن کردن ازن در منبع آن
تصمیم گرفتیم که دیگر فقط به درمان علائم فکر نکنیم، بلکه ریشه مشکل را برطرف کنیم.
با استفاده از فیلترهای کوارتز، و کنترل دقیق دمای فیلامنت، میتوانیم طیف تابش را تغییر دهیم؛ در نتیجه، بازه UVV کاملاً از بین میرود.
نتیجه چیست؟ همچنان میتوانید از حرارت لازم برای خشک کردن رزینها یا فوتورزیستها استفاده کنید، اما دیگر مجبور نیستید با آن محصولات شیمیایی مزاحم سر و کار داشته باشید. این روش، روشی تمیزتر است؛ زیرا از همان ابتدا به این شکل طراحی شده است، نه اینکه فقط فیلترهای گرانقیمتی روی تجهیزات نصب شود.
حرارت در جایی که واقعاً نیاز به آن هست
روش گرمایش حرارتی، مانند گرم کردن یک دانه نخود با گرم کردن کل آشپزخانه است؛ این روش، هدر دادن انرژی است.
لامپهای IR ما متفاوت هستند؛ زیرا مستقیماً روی سطح مورد نظر تأثیر میگذارند. این کار سریع انجام میشود؛ در نتیجه، میتوانیم از فضای کمتری برای خشک کردن مواد استفاده کنیم.
البته، لازم به ذکر است که لامپهای IR با توان بالا، بسیار قدرتمند هستند؛ اگر سطح مورد نظر نازک باشد، ممکن است در صورت عدم مراقبت، دچار تغییر شکل شود. لازم است که سرعت انتقال مواد و فاصله لامپ را به خوبی تنظیم کنید تا بتوانید بازدهی مطلوبی داشته باشید، بدون اینکه مواد آسیب ببینند.
نصب آسان
بهترین چیز این است که این لامپها جایگزینهای مناسبی هستند؛ نیازی نیست کل سیستم را دوباره سیمکشی کنید؛ این لامپها از منبع انرژی صنعتی موجود شما استفاده میکنند.
و از آنجایی که دیگر با ازن سروکار ندارید، لازم نیست که بدنه لامپها از مواد سنگین و مقاوم در برابر خوردگی ساخته شود. این کار، در درازمدت، هزینههای شما را کاهش میدهد.
لطفاً، هر شش ماه یکبار، تنظیمات بازتابنده لامپها را بررسی کنید؛ این کار فقط یک دقیقه طول میکشد، اما اطمینان میدهد که حرارت در سراسر ویفر یکنواخت باشد.