خشک کردن ویفرهای سنسورهای MEMS بدون مشکلات
هنگام خشک کردن ویفرهای سنسورهای MEMS، باید با دقت عمل کرد؛ چرا که باید مایعات موجود روی سطح ویفرها به سرعت از بین بروند. اما اگر از روشهای خشک کردن خشن استفاده شود، ساختارهای ظریف موجود روی ویفرها از بین خواهند رفت.
برای مدت طولانی، از فرهای بزرگ برای خشک کردن ویفرها استفاده میشد. اما در واقع، گرم کردن حجم زیادی از هوا فقط برای خشک کردن یک ویفر نازک، اتلاف انرژی است. به همین دلیل، ما به استفاده از لامپهای گرمایشی با امواج کوتاه روی آمدیم. این روش، روشی بهتر برای خشک کردن ویفرهاست؛ همچنین باعث کاهش مصرف انرژی میشود.
تخصیص انرژی در جای مناسب
نکته مهم در استفاده از امواج کوتاه، تخصیص انرژی در جای مناسب است. به جای گرم کردن کل محفظه، انرژی مستقیماً به سطح ویفر اختصاص مییابد. این روش باعث میشود که مایعات در عرض چند ثانیه از بین بروند. دیگر نیازی نیست انرژی زیادی صرف گرم کردن هوای اطراف شود. این روش، روشی کارآمدتر برای خشک کردن ویفرهاست.
تجهیزات مورد استفاده
ما از پوششهای کوارتز با خلوص بالا استفاده میکنیم؛ زیرا اجازه میدهند امواج UV-IR از آنها عبور کنند، بدون اینکه مانع شوند.
اما هر ویفر یکسان نیست؛ بسته به نوع ویفر، ما روکشهای خاصی روی لامپها قرار میدهیم تا طیف انتشار امواج تغییر کند. این روش، راز خشک کردن موفقیتآمیز ویفرها است.
همچنین، از کانکتورهای صنعتی استاندارد استفاده میکنیم؛ چرا که در زمان تعمیرات، نیازی نیست سیمهای کل دستگاه را تعویض کنیم. این روش، روشی ساده برای تعمیرات است.
مشکلات و راهحلها
امواج کوتاه IR، جادویی نیستند؛ اما قدرتمند هستند. استفاده از این امواج نیازمند دقت زیادی است. باید سرعت حرکت ویفر و ارتفاع لامپ را به درستی تنظیم کرد. اگر ویفر برای چند ثانیه بیشتر در زیر لامپ باقی بماند، ممکن است دچار تنش حرارتی یا تغییر شکل شود. منطق کنترلی دستگاه باید دقیق باشد؛ در غیر این صورت، سنسورها خراب خواهند شد.
رفتن به سمت «کارخانه سبز»، فقط یک اصطلاح نیست؛ بلکه به معنای حذف استفاده از گرمکنهای پرمصرف است. این کار، باعث کاهش مصرف انرژی و کاهش میزان CO2 میشود. این روش، هم برای بهبود فرآیندهای کاری و هم برای حفاظت از محیط زیست مفید است.