Sicherstellen der Sicherheit beim Erhitzen flüchtiger Chemikalien
Falls Sie Waferspülanlagen betreiben, wissen Sie bereits, womit Sie es zu tun haben: Es geht dabei um brennbare Chemikaliendämpfe. Stellen Sie sich nun vor, man würde eine Hochtemperatur-IR-Lampe in diese Mischung einsetzen – das wäre ein Desaster.
Deshalb fertigen wir unsere IR-Systeme nicht einfach nur her. Wir verwenden spezielle Abdeckungen, die dazu dienen, diese gefährlichen Dämpfe von den elektrischen Kontakten sowie vom heißen Quarzkörper fernzuhalten.
Wie die Abdeckungen funktionieren
Bei herkömmlichen Lampen entsteht oft eine Wärme- und Stromleckage genau an den Verschlussstellen. In einer chemischen Umgebung sind solche Leckagen nicht nur störend – sie können sogar zum Entzündungspunkt werden.
Um dieses Problem zu lösen, verwenden wir hermetisch abgeschlossene Quarzhüllen. Dadurch wird der Heizelement vollständig von der Luft abgeschirmt. Zudem verwenden wir Dichtungen, die auch aggressiven Chemikalien standhalten können – so reißt die Hülle nicht sofort bei thermischen Belastungen.
Wir legen außerdem großen Wert auf hochwertige Materialien. Wir verwenden hochreinen Quarz, der die benötigte hohe Temperatur aushalten kann, ohne dass die Wafers beschädigt werden. Zudem werden die elektrischen Verbindungen in Industrieklassen-resistenten Harzen eingebettet. Dadurch werden korrosive Dämpfe daran gehindert, die Leitungen zu zerstören oder einen Kurzschluss zu verursachen, der wiederum ein Feuer auslösen könnte.
Es geht um Zuverlässigkeit.
Die richtige Temperatur einstellen
Es ist schwierig, eine gleichmäßige Temperatur auf der Oberfläche der Wafers zu erreichen. Wenn eine Lampe etwas heißer ist als die anderen, entstehen Hotspots – das ist nicht ideal.
Deshalb halten wir die Toleranzen bezüglich der Leistung sehr gering. Zudem sorgen wir dafür, dass die Lampen in die beengten Reinigungskammern passen. Da es sich um direkte IR-Strahlung handelt, nehmen die im Raum schwebenden Chemikalien keine Wärme auf – nur die Wafers. Einfach.
Die Kompromisse (die ehrliche Seite)
Diese Art der Abdeckung macht die Lampen etwas größer. Man kann sie nicht einfach in einem Standardrahmen montieren.
Bevor Sie kaufen, überprüfen Sie unbedingt die Platzverhältnisse in Ihrer Kammer. Auch müssen Sie sicherstellen, dass Ihre Kühlventilatoren die Wärme effektiv entfernen können. Wenn die Hülle zu viel Wärme speichert, verschleißen die internen Dichtungen schneller.
Ein letzter Tipp: Verbinden Sie die Lampen mit einem Präzisionskontroller. So vermeiden Sie es, die Zieltemperatur zu überschreiten und somit Ihre Geräte zu beschädigen.