Auf dem Produktionsboden weiß man, wie schnell bereits ein einziger Fleck durch feuchte Reinigung oder ein Defekt im Fotolack dazu führen kann, dass ganze Chargen von Wafern unbrauchbar werden. In den thermischen Verarbeitungsschritten entscheidet sich dabei, ob die Qualität der Wafers erhalten bleibt oder nicht. Wir haben diesen automatischen Trockner für die Anforderungen des Wafertrocknens sowie der weichen und harten Belichtung entwickelt – mit einer reproduzierbaren Temperaturregelung, wie sie in der Lithografie erforderlich ist.
Was wirklich wichtig ist
Wir verwenden Kurzwellen-Infrarotstrahler sowie eine Schleifenmessung, um die Temperatur auf dem Wafer innerhalb von ±0,1°C zu halten. Diese Konstanz sorgt dafür, dass die kritischen Abmessungen stabil bleiben und dass es zu keiner Bildung von Schichten kommt. Die Kammer ist für den Einsatz in Reinräumen der Klassen 1–100 geeignet – mit polierten Oberflächen und laminarem Luftstrom, sodass keine Partikel entstehen. Die Einstellungen für Temperatur, Erhitzungsgeschwindigkeit und Aufenthaltsdauer sind festgelegt, sodass jede Behandlung genauso abläuft wie die vorherige.
Warum das funktioniert
Bei der Wafertrocknung entfernt das Gerät die Lösungsmittel schnell, ohne dass es zu Überschreitungen der Temperaturen kommt. Dadurch wird verhindert, dass die Strukturen auf den Wafers beschädigt werden. Dasselbe System wird auch für die weiche und harte Belichtung verwendet – mit einer konstanten Temperatur, was die Haftung und die Selektivität beim Ätzen verbessert. Die schnelle Temperaturreaktion sowie eine effiziente Energieverwaltung reduzieren den Energieverbrauch. Zudem sorgt die Zuverlässigkeit des Geräts für weniger unplanmäßige Stillstände. Das Ergebnis sind höhere Qualitätsstandards bei der ersten Behandlung, bessere Kontrolle über die Abmessungen der Wafers und weniger Nacharbeiten.
Die Details, die dafür sorgen, dass das Gerät ordnungsgemäß funktioniert
Der Trockner kann mit SECS/GEM-Systemen sowie herkömmlichen Waferhandlern kombiniert werden. Doch die volle Leistung hängt davon ab, ob die Abgasanlage, die Kühltemperatur sowie die Stromversorgung an die Bedürfnisse des Betriebs angepasst sind. Stellen Sie sicher, dass Sie einen für Reinräume geeigneten Abgasabfluss haben, und überprüfen Sie, ob die Größe der Wafers sowie der Träger mit den mechanischen Anschlüssen des Geräts übereinstimmen. Wenn all diese Details berücksichtigt werden, funktioniert das Gerät stets zuverlässig – Schicht für Schicht.