保持晶圆在清洁状态（同时保护您的心理健康）
如果您在100级无尘室中工作，那么您肯定知道其中的麻烦。哪怕有那么一点点气体泄漏，或者灯光产生的微小颗粒掉落到晶圆上，整个批次的产品就都报废了。因此，在设计用于晶圆处理的反射器和加热灯时，我们的首要目标就是确保没有任何物质能够接触到晶圆表面。
神秘的秘诀在于石英
我们选择使用高纯度的合成石英来制造这些灯具。为什么呢？因为普通玻璃无法承受如此高的温度，它会因为热冲击而破裂。而石英则不同。它就像一个透明的窗口，让红外线能够直接穿过，而不会被吸收。为了确保热量能够准确地传递到需要的地方，我们会将这种灯具与经过精密加工的石英反射器配合使用。这样一来，能量就不会散失到空气中，而是会被直接反射回晶圆上。这种方式既高效又精确，效果极佳。
避免“积雪效应”
普通金属反射器的问题在于它们容易氧化，最终会逐渐脱落。在无尘室里，这种情况简直就是灾难。我们把这种现象称为“积雪效应”，这显然不是我们在晶圆处理过程中希望看到的。这就是为什么我们使用高纯度石英反射器的原因——它们化学性质稳定，没有涂层会脱落，也没有金属部分会生锈。这样，反射器就能始终保持清洁状态。
缺点与代价（没人告诉您的真相）
高强度的红外线照射会产生大量的热量。虽然石英可以承受这种热量，但您的设备外壳却难以承受。如果冷却系统不够强大，无法将热量从灯具末端带走，那么连接部件就会损坏。如果空气流动不足，也会缩短灯具的使用寿命。我们设计的这些产品是为了方便替换您现有的设备。只需将其接通电源，调整好与晶圆的间距即可。这样，您就能获得稳定的热量供应，而且更重要的是，不会出现任何污染问题。