停止在工厂里与臭氧作斗争吧
说实话，清理设备产生的污染物是这项工作中最麻烦的部分。
在半导体制造领域，我们都希望实现零排放。但如果你使用的是普通的红外灯或对流式烤箱，那么你肯定已经遇到了一个问题：这些光源发出的光波长在185-254纳米之间，这会导致洁净室内的空气变成“臭氧工厂”。
臭氧简直就是个噩梦——它会破坏电路，还迫使HVAC系统不断工作以保持空气的清洁度。这真是一场持续的战斗。
从源头消除臭氧
我们决定不再仅仅解决表面问题，而是从根本上解决问题。通过使用专门的石英过滤器，并严格控制灯丝的温度，我们可以改变光的发射光谱，从而完全消除真空紫外线带来的危害。
这样一来，虽然仍然可以获得足够的热量来固化树脂或烘干光刻胶，但却不会再产生有害的化学副产品。因为从一开始就采用了这样的设计，所以整个过程更加干净，而不需要再额外加装昂贵的过滤器。
在需要的地方提供热量
对流式加热方式就像试图通过加热整个厨房来让一颗豌豆变暖一样，其实是一种浪费能源的方式。
而我们的红外灯则不同，它们可以直接照射到被加工的基材上。这样不仅效率更高，而且还能让干燥装置变得更小。
不过需要注意的是，高强度的红外光具有很强的能量，如果基材较薄的话，可能会因为过度受热而变形。因此，你需要调整传送带的速度以及灯光与基材之间的距离，这样才能确保既达到预期的处理效果，又不会损坏基材。
安装简便
最棒的一点是，这些产品可以直接替代现有的设备，无需重新布线。它们可以利用现有的工业电源来运行。
由于不再需要处理臭氧问题，因此灯壳也无需采用那些过于复杂的、耐腐蚀的材料。这样一来，长期来看就能节省不少成本。
最后，请记得每六个月检查一次反射器的对准情况。这只需要一分钟的时间，但可以确保热量均匀地分布在晶圆上。