晶圆加工设备用温度传感器

如何让100级洁净室始终保持清洁状态 在加热硅片时，温度只是其中的一个因素而已。在100级洁净环境中，哪怕只有一粒微小的灰尘，都可能像手榴弹一样摧毁整批芯片。 因此，我们不再使用传统的电阻式加热器。因为这类加热器容易产生颗粒物和气体，从而影响芯片的纯度。相反，我们使用高纯度的石英红外灯。这是一种更...