왜 강제 공기 냉각 방식 대신 적외선 가열 방식을 사용하는가? 강제 공기 냉각 방식이 어떻게 작동하는지 생각해보세요. 기본적으로는 공기라는 매개체를 이용해 에너지를 전달하는 것입니다. 하지만 문제는 속도가 너무 느리다는 것입니다. 반도체 제조 과정에서 이러한 지연은...

휘발성 화학물질을 가열할 때 안전을 유지하는 방법 웨이퍼 세척 라인을 운영하고 있다면, 이미 알고 있겠지만, 여기서는 인화성이 있는 화학물질의 증기를 다루게 됩니다. 이제, 고온의 IR 램프를 그 혼합물 속에 넣는다고 상상해 보세요. 그건 재앙을 초래할 뿐입니다. 그...

왜 우리는 고성능 방수형 적외선 히터를 선택하는가? 우리가 적외선 기술을 활용한 벽걸이형 차고용 히터를 만드는 이유는 단 하나입니다. 바로 열을 필요한 곳에 직접 전달하기 위해서죠. 그렇게 함으로써 공기만 따뜻해지는 것이 아니라, 실제로 필요한 곳이 따뜻해집니다. 현...

팹 현장에서는 언더필의 경화 과정이 바로 실제 생산성을 결정하는 핵심 요소입니다. 약간의 온도 변동만 있어도 공극이 생기거나, 유착 문제가 발생할 수 있으며, 이는 신뢰성 테스트 시 문제로 이어질 수 있습니다. 저희는 적외선을 이용한 언더필 경화 기술을 개발하여, 열...

팹 내에서는 포토레지스트가 온도에 매우 민감합니다. 소프트 베이크나 하드 베이크 과정에서 온도가 1°C만 변해도, 웨이퍼의 치수가 정확한 값에서 벗어나게 되며, 에칭 성능도 저하됩니다. IR 가열 단계를 일반적인 열원으로 취급한다면 문제가 생길 수 있습니다. 실제로...

리소그래피 라인에서, 2°C 차이만으로도 소프트 베이크가 포토레지스트의 열적 허용 범위를 크게 벗어나게 된다. 솔벤트 잔류가 증가하고, CD(크리티컬 치수) 균일성에 영향을 준다. 이 차이가 양품과 스크랩을 가르는 경계다. 당사는 이러한 변동성을 제거하기 위해 적외선...