왜 강제 공기 냉각 방식 대신 적외선 가열 방식을 사용하는가?
강제 공기 냉각 방식이 어떻게 작동하는지 생각해보세요. 기본적으로는 공기라는 매개체를 이용해 에너지를 전달하는 것입니다. 하지만 문제는 속도가 너무 느리다는 것입니다. 반도체 제조 과정에서 이러한 지연은 단순히 시간 낭비일 뿐입니다.
그래서 우리는 적외선 발생기를 사용합니다. 공기를 이용하는 대신, 적외선은 에너지를 직접 목표물에 전달합니다. 즉시 에너지가 전달되므로 중간 매개체가 필요 없으며, 기다릴 필요도 없습니다.
모든 것이 타버리지 않는 비결은?
문제는 적외선 발생기가 엄청나게 뜨거워진다는 점입니다. 전기 선이 석영관에 연결되는 부분이 바로 문제가 발생하는 지점입니다. 이곳은 완전한 실패 지점입니다. 이를 방지하기 위해 세라믹으로 만들어진 커버를 사용하여 열 스트레스를 줄입니다. 세라믹은 고온에서도 녹거나 변형되지 않으며, 필라멘트를 정확히 중앙에 고정시켜줍니다. 만약 이 커버가 조금이라도 움직이면 필라멘트가 처지고 과열되어 결국 파손됩니다. 우리는 이러한 커버를 특별히 설계하여, 아무리 극한의 조건에서도 전기 연결이 안정적으로 유지되도록 합니다.
기다림을 없애다
강제 공기 냉각 방식의 경우, 챔버가 온도에 도달할 때까지 기다려야 합니다. 이는 매우 번거로운 일입니다. 반면 적외선 발생기는 몇 초 만에 목표물에 에너지를 전달합니다. 반응 속도가 훨씬 빨라서 공정을 더 효율적으로 진행할 수 있습니다.
게다가 장비도 훨씬 간단해집니다. 큰 송풍기나 복잡한 배관 시스템은 필요 없습니다. 발생기와 부품 사이에만 명확한 시야가 있으면 됩니다. 간단하죠.
단점도 있습니다(완벽한 것은 없으니까)
적외선은 빠르지만 방향성이 있습니다. 따뜻한 공기가 부품 주위를 감싸는 것과 달리, 적외선은 그림자를 만듭니다. 무언가가 가로막고 있으면 그 부분은 여전히 차가워집니다.
만약 부품의 형태가 복잡하다면, 하나의 광원만으로는 충분하지 않습니다. 열이 고르게 분배되도록 하려면 여러 개의 광원을 사용해야 합니다. 이로 인해 배선 및 전력 제어가 조금 더 복잡해지지만, 그만큼 빠른 속도를 얻을 수 있습니다.