MEMS 센서 웨이퍼 건조 히터

불필요한 고민 없이 MEMS 웨이퍼를 건조시키는 방법 MEMS 센서 웨이퍼를 건조할 때는 매우 신중해야 합니다. 액체를 빠르게 제거해야 하지만, 너무 과도하게 처리하면 그 섬세한 미세구조가 손상될 수 있습니다. 오랫동안 사람들은 큰 대류식 오븐을 사용해왔습니다. 하지...