웨이퍼 처리 장비용 온도 센서

클래스 100의 청정실을 계속 깨끗하게 유지하는 방법 실리콘 웨이퍼를 가열할 때, 단순히 온도만 고려해서는 안 됩니다. 클래스 100 환경에서는 아주 작은 먼지 한 알도 치명적인 위협이 됩니다. 그 먼지 하나만으로도 몇 초 만에 전체 칩들이 파괴될 수 있습니다. 그래...