半導体製造装置を「オーヴン」に変えないでください。
一般的な赤外線ランプには問題があります。それは、熱があらゆる方向に放出されてしまうという点です。そのようなランプを狭い処理室に詰め込むと、360度から熱が放出され、大変な問題となります。
実際、そのエネルギーの大部分はウェーハには当たらず、装置の内壁に当たってしまいます。これにより、装置全体が巨大なラジエーターのようになってしまいます。その結果、装置の外壁が非常に高温になり、作業員が怪我をする危険があります。また、冷却システムも大きな負担を強いられます。
素晴らしい解決策
この問題を解決するために、石英製のケースの裏側に薄い金の層を塗ります。これは、赤外線光を反射する高機能な鏡のようなものです。
そうすることで、熱がチャンバーの後ろ側に漏れ出すのを防ぎ、熱が正確に必要な場所に集中します。これにより、装置内の「オーヴン効果」が即座に解消されます。
装置にもたらされるメリット
熱があちこちに広がらないようになると、装置のフレームにも負担がかかりません。冷却システムや排気ファンを過剰に設置する必要もありません。これにより、全体の熱管理がずっと簡単になります。
注意すべき点
ただし、注意点もあります。熱が集中するため、対象表面の温度が上がります。そのため、基板が変形したり、傷がつかないようにしっかりとチェックする必要があります。
また、通常のランプを金コーティングされたランプに交換する場合は、PIDの調整にも注意が必要です。これらのランプは急速に加熱されます。もし制御装置が適切に設定されていなければ、温度が過剰に上昇する可能性があります。
最後に、高温に耐えられるケーブルを使用し、反射板を常に清潔に保つことが大切です。金の表面に少しでもほこりが付くと、熱点ができてしまい、ランプの寿命が短くなってしまいます。