製造現場において、SRDサイクルというのは、急速かつ高温で行われるプロセスです。すなわち、洗浄、乾燥、保持という工程が繰り返されます。もしIRランプの動作が遅くなったら、すぐに問題があるとわかります。ウェハーに筋ができたり、粒子が発生したり、数時間後になってからようやくフォトレジストの品質に問題が出てきます。私たちは、SRD用の赤外線ランプを、24時間365日稼働しても性能が低下しないように設計しました。
重要なのは、短波長の赤外線を使用し、速応性の高い石英素子によって駆動される点です。応答速度は数秒以下であり、チャック全体で均一な温度管理が可能です。乾燥段階では、ウェハーの温度を±0.1℃以内に保つことができ、これによりソフトベイクやハードベイク後でもフォトレジストの品質が保たれます。また、Class 1–100の環境下でも問題なく動作し、粒子の発生もありません。密封された筐体によってガスの漏出や汚染も防げます。全負荷状態でも5,000時間以上稼働でき、強度の変動は5％未満であり、連続運転中に故障することもありません。
SRDの場合、熱処理の時間は限られています。迅速に加熱し、乾燥させ、再び同じプロセスを繰り返す必要があります。このランプによって、乾燥時間が短縮され、ウェハーにノイズが残らないようになります。また、温度プロファイルが毎回同じになるため、再現性も向上します。エネルギー消費も減少します。迅速な温度上昇と効率的な制御により、ピーク時の電力需要も低くなります。ランプの交換回数が少なくなるため、メンテナンスの中断も少なくなり、ラインの稼働率も向上します。
いくつか実用的な注意点があります。ランプはSRDのチャンバーの形状やコントローラーの放射率補正機能に適合していなければなりません。反射板が正しく設置されていないか、ピロメーターの読み取り値が一致していない場合、設定値が変動してしまいます。組み立て時には機械的な接続部分や冷却方式をしっかりと考慮し、溶剤や酸素がある環境でもクリーンルームとして機能するかを確認しましょう。正しい位置決めと校正を行えば、毎日規定通りに動作します。例外はありません。