なぜ強制送風式ではなく、IR加熱方式を採用するのか？ 強制送風式の仕組みを考えてみましょう。要するに、まず空気という「仲介者」を加熱し、そのエネルギーをウェーハや基板に伝えようとするわけです。問題は、これが非常に遅いということです。半導体加工の世界では、この遅さは無駄な時間となってしまいます。 だ...

揮発性化学物質を加熱する際の安全対策 ウェーハ洗浄ラインを運用している方なら、危険な化学物質の蒸気を扱っていることはご存知でしょう。そこに高温のIRランプを加えるとどうなるでしょうか？それは大惨事を招く結果になります。 だからこそ、私たちは単にランプを作るだけではありません。IRシステムを構築する...

なぜ私たちは高品質な防水型赤外線ヒーターを推奨するのか？ 私たちが赤外線技術を用いて壁掛け式のガレージヒーターを製造するのには、単純な理由があります。それは、空気全体を温めるのではなく、必要な場所にだけ熱を届けるからです。 そして、現代のバスルームでは、防水型赤外線ヒーターが従来のランプ型のヒータ...

製造現場において、アンダーフィルの硬化処理は、熱的な要因が実際の歩留まりに影響を与える重要な段階です。数度の温度変動であっても、気泡やフィレットの問題、またはCTEの不一致が生じ、信頼性試験時に問題となります。私たちは、赤外線を利用したアンダーフィル硬化装置を開発しました。これにより、熱が本来ある...

ファブ内では、フォトレジストは温度に敏感な素材です。ソフトベイクやハードベイク時の温度変動が1°Cでもあると、重要な寸法が目標値から外れてしまい、エッチングの選択性も低下します。IR加熱装置を単なる熱源として扱ってはいけません。実際にウェーハ全体で均一な温度を実現するためには、ラムプの電圧を安定さ...

リソグラフィー現場での技術的な重要性 ソフトベイクで2℃の変動があると、フォトレジストの熱バジェットが乱れます。溶剤保持が増加し、CDの均一性が損なわれます。この違いは良品ロットと廃棄物の境界線です。我々はこの変動を排除するために赤外線ソフトベイクモジュールを開発しました。 技術的に重要な点 IR...