オーブンが温まるのを待って時間を無駄にしないでください。
半導体製造の世界では、待っている1秒1秒が、実質的にお金の損失となります。
多くの工場では依然として熱風循環方式が使われています。これは古い方法で、空気を加熱し、その空気が部品を温めるのを待つというものです。これは効率が悪く、面倒です。
私たちは違う方法を使います。金製の反射器付きの赤外線ランプを使用します。空気を操作する代わりに、赤外線が直接基板に当たります。これにより、必要な場所にだけ高密度の熱を与えることができます。また、電力代も大幅に節約できます。
なぜ金なのか？
ほとんどの人はアルミニウム製の反射器を使用しますが、問題はアルミニウムがエネルギーを過剰に吸収してしまう点です。一方、金は異なり、赤外線の98％以上を反射します。これにより、熱が集中して伝わります。ワークピース上に必要な場所にだけ高密度の熱を与えることができ、電力代も節約できます。
「遅れ」の問題
熱風システムを使ったことがある人なら、温度変更後に時間がかかることにイライラした経験があるでしょう。温度設定を変更しても、チャンバー全体が温度に追いつくまで待たなければなりません。これは非効率的です。
しかし、赤外線ランプではそういうことはありません。ほとんど遅れがありません。スイッチを押せば、数秒で目標温度に到達します。これにより、工程時間が大幅に短縮され、作業スペースも節約できます。
デメリット（必ずあるものです）
もちろん、これがすべての工程に適しているわけではありません。高強度の赤外線は力強い反面、注意が必要です。金製の反射器は熱を非常に集中させるため、距離が合っていないと熱点ができてしまいます。適当に設置することはできません。取り付け位置はミリ単位で正確に調整する必要があります。近すぎると部品が壊れてしまいますし、遠すぎるとまた最初からやり直しになります。
安全を確保するために、通常はPIDコントローラーや高速応答型のセンサーを組み合わせて使用します。これにより、温度が上がりすぎるのを防ぎ、基板が破損するリスクを回避しつつ、高速な処理が可能になります。