钨丝石英灯

在芯片制造过程中，光刻胶的受热情况决定了电路线的宽度是否准确。如果加热过程出现波动，光刻胶的厚度就会变得不稳定，进而导致关键尺寸控制失灵，而这一切都发生在蚀刻步骤之前。我们设计的钨丝石英灯能够消除这种不稳定性——它能在工艺所需的位置提供稳定且可重复的热量。 真正重要的因素是什么？ 在灯的内部，钨丝...