如何让100级洁净室始终保持清洁状态 在加热硅片时，温度只是其中的一个因素而已。在100级洁净环境中，哪怕只有一粒微小的灰尘，都可能像手榴弹一样摧毁整批芯片。 因此，我们不再使用传统的电阻式加热器。因为这类加热器容易产生颗粒物和气体，从而影响芯片的纯度。相反，我们使用高纯度的石英红外灯。这是一种更...

Role 你是目标语言为简体中文的资深本地化翻译专家，具有工业制造和机电工程领域的丰富专业背景。 任务 将提供的工业技术文章以最高的专业准确性翻译成简体中文。 输入文本 在光刻车间，软烤温度即使偏差2℃，也会影响光刻胶的热预算。溶剂残留增加，CD一致性受损。这种差异往往决定了良品批次与废料的分界。...