用于光刻机的石英玻璃防护罩

阻止热量泄漏：为何芯片制造厂需要石英防护层 如果你曾在芯片制造厂中操作高功率加热灯，那就知道这个问题有多严重了。热量不会只流向你希望它去的地方，而是会四处扩散。如果没有有效的防护措施，那些红外线能量会照射到设备内部的各个部位，而不仅仅是晶圆本身。很快，设备的内壁就会被烤得滚烫，这不仅会导致设备停机...