Mengeringkan Wafer MEMS Tanpa Masalah
Ketika kita ingin mengeringkan wafer sensor MEMS, kita perlu berhati-hati. Cairan perlu dihilangkan secepat mungkin, tetapi jika kita menggunakan kaedah yang terlalu agresif, struktur mikro yang halus tersebut akan rosak.
Untuk waktu yang lama, orang-orang menggunakan ketuhar konveksi biasa untuk tujuan ini. Namun, cara ini membuang-buang tenaga kerana perlu memanaskan udara dalam kuantiti yang banyak hanya untuk mengeringkan wafer yang tipis. Itulah sebabnya kita beralih kepada lampu pemanas gelombang pendek IR. Cara ini lebih efisien, dan ia juga membantu mengurangkan kesan karbon di bilik bersih tersebut.
Mengarahkan haba ke tempat yang tepat
Ciri utama teknologi IR ialah kepadatan tenaganya yang tinggi. Daripada memanaskan seluruh ruangan, kita hanya perlu mengarahkan tenaga tersebut ke permukaan wafer sahaja. Dengan cara ini, proses pengeringan berlaku dengan cepat. Tidak perlu lagi membuang tenaga yang banyak untuk memanaskan udara sekeliling. Ini menjadikan masa proses pengeringan lebih singkat, dan kos elektrik juga berkurangan. Ia memang sangat efisien.
Komponen yang digunakan
Kita menggunakan kapsul kuarsa berkualiti tinggi, kerana ia membolehkan cahaya UV-IR menembus masuk tanpa terhalang. Namun, setiap wafer berbeza. Bergantung pada jenis wafer yang digunakan, kita perlu menambah lapisan khusus pada lampu tersebut untuk mengubah spektrum pelepasan cahayanya. Inilah rahsianya agar sisa cairan dapat dihilangkan tanpa merosakkan wafer tersebut.
Selain itu, kita juga menggunakan konektor industri yang standard. Semasa proses penyelenggaraan, kita tidak perlu mengubah susunan kabel secara keseluruhan. Konektor ini mudah diganti.
Cabaran dan cara mengatasinya
Teknologi IR gelombang pendek bukanlah sesuatu yang ajaib; ia memang sangat berkuasa. Namun, ia memerlukan kemahiran khusus untuk digunakan dengan betul. Kita perlu memastikan kelajuan penghantaran wafer dan ketinggian lampu tepat. Jika wafer berada di bawah lampu terlalu lama, ia boleh menyebabkan tekanan haba atau keretakan pada wafer tersebut. Logik PLC perlu diselesaikan dengan baik, agar sensor tidak rosak.
Menuju ke arah “Pabrik Hijau” bukan sekadar slogan semata-mata. Ia merupakan cara untuk mengurangkan penggunaan tenaga yang berlebihan. Dengan cara ini, kita dapat mengurangkan penggunaan tenaga dan mengurangkan pelepasan CO2. Ini merupakan keuntungan bagi proses kerja dan juga bagi planet kita.