Pengesan suhu untuk alat pemprosesan wafer
Menjaga Kebersihan Bilik Bersih Kelas 100
Ketika memanaskan wafer silikon, suhu semata-mata bukanlah faktor yang penting. Dalam persekitaran Kelas...
Suhu pembakaran lembut fotoresis IR
Pada lantai litografi, soft bake yang melayang walaupun 2°C boleh mengganggu bajet terma photoresist. Penahanan pelarut meningkat. Keseragaman CD...