ייבוש שבבי MEMS ללא בעיות
כאשר מייבשים שבבי חיישני MEMS, צריך לנהוג בזהירות רבה. יש צורך להוציא את הנוזלים מהשבב – במהירות – אך אם עושים זאת באופן נחרץ מדי, עלולים לפגוע במבנים העדינים של השבב.
במשך זמן רב, אנשים השתמשו בתנורים גדולים לחימום. אך למען האמת, חימום כמות גדולה של אוויר רק כדי לייבש שבב דק הוא בזבוז. לכן עברנו לשימוש בלהבות חימום בגלי אינפרא-אדום. זו דרך יעילה יותר לעבוד, והיא מונעת עלייה בפליטות הפחמן בחדר הנקי.
הכנסת החום למקום הנכון
היתרון של גלי אינפרא-אדום הוא הצפיפות הגבוהה של האנרגיה שהם מספקים. במקום לחמם את כל החדר, אנו מכוונים את האנרגיה ישירות לפני השבב. כך, הנוזלים נאדים תוך שניות בודדות. אין יותר צורך לבזבז אנרגיה על אוויר סביבי. כתוצאה מכך, זמן העיבוד קצר יותר, ועלויות החשמל נמוכות יותר לכל שבב. זו פשוט דרך יעילה.
הציוד הנדרש לחימום
אנו משתמשים במעטפות קוורץ באיכות גבוהה, שמאפשרות מעבר של קרינת UV-IR מבלי לחסום אותה. אך לא כל השבבים זהים. בהתאם לסוג השבב, אנו מוסיפים ציפויים מיוחדים ללהבות כדי לשנות את ספ�קטרום הקרינה. זו הדרך לגרום לנוזלים להתאדות מבלי לפגוע בשבב. בנוסף, אנו משתמשים בחיבורים תעשייתיים סטנדרטיים. זו דרך פשוטה להחליף את החלקים השבורים.
החסרונות (והדרך להתמודד איתם)
גלי אינפרא-אדום אינם “קסם”; הם פשוט חזקים מאוד. ועם כוח כזה יש צורך במיומנות מסוימת. יש לוודא שמהירות ההעברה וגובה הלהבות נכונים. אם השבב נשאר תחת הלהבה יותר מדי זמן, עלולים להיווצר לחצים תרמיים שעלולים לפגוע בשבב. הלוגיקה של המערכת צריכה להיות מדויקת, אחרת החיישנים עלולים להיהרס.
המעבר ל“מפעל ירוק” אינו רק מושג תעמולתי – זו דרך להיפטר ממכשירי חימום שצורכים הרבה אנרגיה. כך ניתן להפחית את צריכת האנרגיה ואת פליטות ה-CO2. זו דרך טובה עבור העבודה ועבור הכדור הארץ.