בשטח הייצור, כמו שאתם יודעים, כתם אחד שנשאר לאחר ניקוי בשיטה הרטובה, או פגם קל בשכבת הפוטורזיסט, יכולים להרוס את כל הלוחות. השלבים התרמיים הם אלו שקובעים האם התהליך יצליח או לא. יצרנו את מכשיר החימום האוטומטי הזה כדי לעמוד בדרישות הקשורות לייבוש הלוחות, וכן לתהליכי חימום של שכבת הפוטורזיסט – עם שליטה אפשרית בטמפרטורה, כפי שדרוש בתהליכי ליתוגרפיה.
מה חשוב באמת? אנו משתמשים בגופי פליטה באור אינפרא-אדום באורך גל קצר, יחד עם מערכת ויסות טמפרטורה, כדי לשמור על טמפרטורה קבועה בטווח של ±0.1°C על כל שטח הלוח. רמת אחידות כזו משמרת על הממדים החיוניים של הלוח, ומפחיתה את יצירת הפגמים בשכבת הפוטורזיסט. התא מתאים לשימוש בחדרי ניקיון מסוג Class 1–100, עם משטחים מלוטשים וזרימת אוויר אחידה, כך שאין יצירת חלקיקים. ההגדרות של המכשיר מאפשרות שליטה בטמפרטורה, בקצב החימום ובזמן החימום, כך שכל תהליך חימום יתבצע באופן אחיד.
למה זה יעיל? בתהליך ייבוש הלוחות, המכשיר מסייע להסיר את החומרים המסיסים במהירות, מבלי לגרום לעלייה יתר בטמפרטורה, מה שמונע את התמוטטות הדפוסים על הלוח. אותה פלטפורמה מאפשרת חימום יעיל של שכבת הפוטורזיסט, מה שמשפר את האיכות של החיבורים בין החומרים השונים. תגובה תרמית מהירה וניהול יעיל של האנרגיה מפחיתים את צריכת האנרגיה, והאמינות של המכשיר מפחיתה את זמני העצירה הבלתי צפויים. התוצאה היא שיעור הצלחה גבוה יותר, שליטה טובה יותר בממדים של הלוחות, ופחות צורך בתיקונים.
הפרטים שמאפשרים למכשיר לעבוד כראוי המכשיר מתחבר למערכות SECS/GEM ולמכשירי טיפול בלוחות סטנדרטיים. אך הביצועים המיטביים שלו תלויים בהתאמה של טמפרטורת האוויר היוצא, טמפרטורת המזרק ומתח האספקה לדרישות של המפעל. ודאו שיש לכם מערכת פליטה שמתאימה לחדרי ניקיון, ושגודל הלוחות והמערכות המשמשות להעברתם תואמים את הממשקים המכניים של המכשיר. כשכל הפרטים האלו יהיו מתואמים, המכשיר יעבוד כראוי, שעה אחר שעה.