در فرآیند لیتوگرافی، حتی کمترین مقدار رطوبت در سطح ویفر میتواند باعث اختلال در فرآیند پختن آن شود. شما قبل از استفاده از ابزارهای لازم برای تابش نور، کنترل ضخامت فوتورزیست را از دست میدهید. همچنین، صفحات گرم ممکن است نتوانند به اندازه کافی سریع آن لایه را از روی ویفر بردارند، بدون اینکه سمت پشت ویفر گرم شود؛ در این صورت، الگوهای روی ویفر دچار تغییر میشوند. ما یک لامپ برای حذف رطوبت از روی ویفر ساختیم؛ این لامپ فقط سطح جلویی ویفر را خشک میکند، به سرعت عمل میکند، و همچنین باعث افزایش مصرف انرژی نمیشود.
این دستگاه از عناصر هالوژنی با طول موج کوتاه درون یک پوشش کوارتزی استفاده میکند؛ این عناصر به گونهای تنظیم شدهاند که انرژی را به سرعت و به شکل کنترلشده منتقل کنند. در ناحیه تحت تابش نور، یکنواختی دما در حد ±۰٫۱ درجه سانتیگراد حاصل میشود؛ همچنین، قابلیت تکرار پارامترهای دستگاه نیز بسیار خوب است، یعنی تغییرات دما در حد چند درجه است. چنین پایداریای به این معناست که پروفایلهای مربوط به فرآیندهای پختن ویفر، از یک دسته به دسته دیگر تغییر نخواهد کرد.
این دستگاه میتواند در اتاقهای تمیز کلاس ۱-۱۰۰ نیز استفاده شود، بدون اینکه مقدار ذرات موجود در هوا افزایش یابد. همچنین، طراحی سبک این دستگاه باعث کاهش تأخیر حرارتی در هنگام تغییر رژیمهای کاری میشود.
در استفاده روزمره، ویفرها وارد دستگاه خشککن میشوند؛ در نتیجه، نقصهای ناشی از رطوبت کمتر میشود و پروفایلهای فوتورزیست نیز بهتر میشوند. زمان پردازش کاهش مییابد، زیرا حذف رطوبت در چند ثانیه انجام میشود؛ همچنین، مصرف انرژی نیز در مقایسه با دستگاههای پختن کامل ویفر، کمتر است. قابلیت اطمینان این دستگاه بسیار بالاست؛ این دستگاهها بیش از ۵۰۰۰ ساعت کار کردهاند، بدون اینکه کمتر از ۵٪ کاهش در عملکرد آنها رخ دهد؛ بنابراین، میتوان از آنها برای کار ۲۴/۷ استفاده کرد، بدون وقفههای غیرمنتظره.
نصب این دستگاه ساده است؛ اما مهمترین مسئله، تنظیم جهت تابش نور است. لامپ باید فقط سطح جلویی ویفر را روشن کند؛ همچنین، زاویه تابش نور باید متناسب با اندازه ویفر باشد، تا لبههای ویفر دچار گرمایش بیش از حد نشوند. برای تنظیم زمان و شدت تابش نور، نیاز به چند بار آزمایش وجود دارد؛ تا لامپ بتواند با فرآیند پختن ویفر هماهنگ شود.
مزایای استفاده از این دستگاه ساده است: فوتورزیست به شکل قابل پیشبینی عمل میکند، کنترل ویفر نیز قابل تکرار است؛ همچنین، دیگر نیازی نیست که ویفرهایی که به دلیل رطوبت دچار نقص شدهاند، دور ریخته شوند.