در خط 300mm، نازککردن ویفر درست پیش از برش، جایی است که تنش حرارتی به کاهش بازده تبدیل میشود. یک هیتر پشتیبانی که در حین فرزکاری پشت ویفر دچار نوسان یا افزایش ناگهانی دما شود، ویفرهای نازک را ترکدار کرده و میکروترکهایی ایجاد میکند که بعدها بهصورت خرابی ظاهر میشوند. ما هیتر پشتیبانی فرزکاری پشت را بهگونهای طراحی کردیم که این عدم قطعیت را از بین ببرد و دما را در جایی که زیرلایه بیشترین آسیبپذیری را دارد، پایدار و یکنواخت نگه دارد.
هسته اصلی این سیستم، آرایهای از فرستندههای کوارتز مادون قرمز موج کوتاه است که برای گرمایش سریع و موضعی با یکنواختی در سطح ویفر به ±0.1°C تنظیم شده است. تکرارپذیری دما در طول تغییر شیفتها و طول عمر لامپها در ±0.5°C باقی میماند، بنابراین بودجه حرارتی برای هر ویفر در محدوده مشخصات نگه داشته میشود. منطقه گرم از مرحله مکانیکی جدا شده است تا تولید ذرات به شکل مؤثری به صفر برسد.
این دستگاه برای کلاس اتاق تمیز 1–100 رتبهبندی شده و هر سطح در مسیر حرارتی مطابق با مشخصات برای به حداقل رساندن انتشار گاز و ریزش ذرات طراحی شده است.
در فرزکاری پشت، نیاز است که دما تنش را کاهش دهد و چسبندگی را حفظ کند، بدون آنکه رزین حساس به نور نرم شود یا فیلمهای پشتصحنه آسیب ببینند. هیتر ما در عرض چند ثانیه به دمای تنظیمشده میرسد، دمای پایدار را تحت بارهای متغیر اسپیندل حفظ میکند و بهصورت 24 ساعته در 7 روز هفته با هیچگونه توقف ناگهانی کار میکند. نتیجه این عملکرد، کاهش تراشههای لبهای، کاهش ضایعات و کنترل ضخامت یکنواخت در سراسر دسته تولید است.
نصب دستگاه به تطابق ابعاد رابط چاک و حامل بستگی دارد. کیتهای بازسازی برای پلتفرمهای رایج موجود است، اما تلرانسهای تراز بندی بسیار دقیق هستند. برای تنظیم پروفایل PID متناسب با پشته فیلم و چرخه کاری اسپیندل، یک دوره کوتاه تأیید صلاحیت در نظر بگیرید.
پس از کالیبراسیون، پنجره فرآیند باز میشود و باز میماند.