Role
شما به سرعت در محیط تولید یاد میگیرید که تغییر ۰.۵ درجه سانتیگراد در نرمپخت فوتورزیست باعث جابجایی CDها میشود و خشک شدن غیر یکنواخت باعث ایجاد لبههای چسبنده میشود که هزینهای بسیار بیشتر از لامپ دارد. وقتی بودجه حرارتی محدود است و زمان حساس، گرمادهی مادون قرمز گزینه مناسبی است.
ما لامپهای گرمادهی مادون قرمز نیمههادی خود را حول انتشاردهندههای کوتاهموج کوارتز و کنترل حلقه بسته میسازیم. نتیجه یکنواختی در سطح ویفر با دقت ±۰.۱ درجه سانتیگراد در سراسر چاک است. با افزایش سریع دما، زمان پخت را کاهش میدهد و توانایی تکرارپذیری را در محدوده فرایندی که لیتوگرافی میطلبد حفظ میکند. انتشاردهندهها بدون تولید ذرات کار میکنند و سختافزار برای یکپارچگی در اتاق تمیز کلاس ۱–۱۰۰ طراحی شده است. همین انرژی سریع و یکنواخت در خشک کردن ویفر نیز منتقل میشود و رطوبت باقیمانده را حذف میکند بدون اینکه سطح دوباره آلوده شود.
از نظر فرایندی، این موضوع اهمیت دارد. نرمپخت پروفایل حلال فوتورزیست را تنظیم میکند؛ سختپخت فیلم را برای اچ و ایمپلنت قفل میکند. با مادون قرمز، هدف را گرم میکنید، نه دیوارههای محفظه. بازیابی دما فوری است و انحراف به حداقل میرسد.
این به معنای عرض خط پایدار، کاهش بازکاریها و بازدهی قابل برنامهریزی است. مصرف انرژی کاهش مییابد چون دیگر نیازی به نگه داشتن جرمهای داغ بزرگ نیست و زمان کارکرد با قطعات طراحی شده برای سیکل کاری ۲۴/۷ بهبود مییابد.
نصب ساده است اما تراز کردن دقیق است. آرایه لامپ باید همصفحه با صفحه ویفر باشد و حسگر باید همان امضای حرارتی محصول را ببیند. نقشههای نصب و روندهای کالیبراسیون را ارائه میدهیم، اما تحمل فاب برای تلرانس مکانیکی بسیار کم است—دو بار اندازهگیری کنید، یک بار اجرا کنید.
مادون قرمز جایگزین قضاوت نمیشود؛ بلکه آن را الزامآور میکند. اگر مراحل نرمپخت، سختپخت و خشک کردن شما نیاز به دقت دارد، این روش بازپسگیری کنترل است.