در کارخانههای تولید، فوتورزیست یک ماده حساس به دما است. تغییر ۱ درجه سانتیگراد در دمای حرارتدهی، میتواند ابعاد مهم فوتورزیست را از محدوده مورد نظر خارج کند؛ همچنین، توانایی انتخابی فرآیند حکاکی نیز تحت تأثیر قرار میگیرد. بنابراین، باید از منبع حرارتی نوع IR به عنوان منبع حرارتی استاندارد استفاده کرد؛ ثبات ولتاژ لامپ، تنها راه برای دستیابی به یکنواختی حرارتی در سطح ویفر است.
چه چیزهایی اهمیت دارند؟ ما از تنظیمکننده ولتاژ برای حفظ ثبات خروجی لامپ استفاده میکنیم؛ این کار باعث میشود دمای ویفر در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد بماند. در نتیجه، فرآیندهای حرارتدهی تکرارپذیر خواهند بود؛ همچنین، حذف محلولهای موجود در فوتورزیست نیز به درستی انجام خواهد شد. کلاسهای پاکسازی ۱ تا ۱۰۰ نیز با استفاده از موادی که گاز کمی تولید میکنند، و همچنین ساختار مناسب، حفظ میشوند؛ در نتیجه، هیچ ذرهای به سمت ویفر یا لایههای روی آن منتقل نخواهد شد.
چرا این موضوع در فرآیند لیتوگرافی اهمیت دارد؟ ثبات دما ضروری است؛ توانایی ثابت IR باعث میشود جریان فوتورزیست یکنواخت باقی بماند و یکپارچگی ماسک حکاکی حفظ شود. این امر منجر به کاهش تعداد کارهای تکراری و اختلالات در فرآیند تولید میشود. همچنین، با استفاده از تنظیمکننده ولتاژ، مصرف انرژی کاهش مییابد؛ زیرا این تنظیمکننده از اختلافات ولتاژ جلوگیری میکند. همچنین، با عدم وجود هشدارهای مربوط به دما، زمان کاری نیز بهبود مییابد.
چه چیزهایی برای انجام صحیح کار لازم است؟ تنظیمکننده ولتاژ با منابع حرارتی استاندارد مانند کوارتز-هالوژن و منابع IR کوتاه/متوسط موج کار میکند؛ اما همچنان باید فرمت لامپ و ماسه حرارتی مربوطه نیز در نظر گرفته شود. نصب این تنظیمکننده نیازمند اتصال دقیق به سیستمهای الکتریکی و مسیرهای بازخورد حرارتی است؛ پس از نصب، باید حلقه PID را تنظیم کرد تا به دستاورد مورد نظر (+/-۰.۱ درجه سانتیگراد) دست یافت. همچنین، باید یک آزمایش کوتاه انجام شود تا پروفایل مورد نظر برای فوتورزیست تعیین شود.