Secado de obleas MEMS sin problemas
Cuando se secan las obleas de sensores MEMS, hay que tener mucha precaución. Es necesario eliminar el líquido rápidamente, pero si se actúa con demasiada fuerza, se dañarán esas delicadas estructuras microscópicas.
Durante mucho tiempo, la gente utilizaba hornos de convección de gran tamaño. Pero, honestamente, calentar una gran cantidad de aire solo para secar una oblea delgada es un desperdicio. Por eso pasamos a utilizar lámparas de calentamiento por ondas infrarrojas de corta longitud. Es una forma más eficiente de trabajar, además de reducir la huella de carbono en la sala limpia.
Dirigir el calor donde realmente hace falta
Lo importante con las ondas infrarrojas es su densidad de energía. En lugar de calentar toda la cámara, dirigimos la energía directamente hacia la superficie de la oblea. Esto permite que el líquido se evapore en segundos. Así, no hay necesidad de desperdiciar energía en el aire circundante. Se obtienen tiempos de ciclo más cortos y una factura de electricidad mucho menor por cada oblea. Es simplemente más eficiente.
Los componentes necesarios para generar calor
Utilizamos envolventes de cuarzo de alta pureza, ya que permiten pasar la radiación UV e IR sin obstáculos. Pero no todas las obleas son iguales. Dependiendo del material con el que se trabaja, añadimos recubrimientos específicos a las lámparas para ajustar el espectro de emisión. Este es el secreto para hacer que los residuos se evaporen sin dañar la oblea.
Además, utilizamos conectores industriales estándar. Lo último que queremos durante un ciclo de mantenimiento es tener que volver a conectar todos los cables. Estos conectores son fáciles de instalar.
Las desventajas y cómo solucionarlas
Las ondas infrarrojas de corta longitud no son mágicas; son poderosas. Y con ese poder viene también una curva de aprendizaje. Hay que mantener una velocidad precisa en el transportador y la altura de la lámpara. Si una oblea permanece bajo la lámpara incluso unos segundos más de lo necesario, puede producirse estrés térmico o deformación. La lógica del PLC debe ser precisa, de lo contrario, los sensores podrían dañarse.
Avanzar hacia una “fábrica ecológica” no es solo un concepto vacío. Se trata de eliminar esos calentadores que consumen mucha energía. De esta manera, se reduce el tamaño del equipo y disminuye significativamente las emisiones de CO2. Es una ventaja tanto para el proceso de producción como para el planeta.