Hören Sie auf, gegen das Ozon in Ihren Fertigungsanlagen zu kämpfen!
Seien wir ehrlich: Die Reinigung nach dem Gebrauch der Geräte ist der schwierigste Teil der Arbeit.
In der Halbleiterproduktion streben wir alle danach, keine Emissionen zu haben. Doch wenn man Standard-IR-Lampen oder Konvektionsöfen verwendet, stellt man schnell ein Problem fest: Diese Lampen strahlen im Bereich von 185–254 Nanometern – dadurch wird die Luft in der Reinräumumgebung zu einer Art „Ozonfabrik“.
Ozon ist ein Albtraum: Es zerstört die Schaltungen und zwingt die Lüftungssysteme dazu, übermäßig zu arbeiten, um die Luft atembar zu halten. Es handelt sich dabei um einen ständigen Kampf.
Das Ozon an der Quelle bekämpfen
Wir haben beschlossen, nicht nur die Symptome zu behandeln, sondern die Ursache anzugehen. Durch den Einsatz spezieller Quarzfilter sowie eine strenge Kontrolle der Temperatur des Filaments können wir das Emissionsspektrum verändern. Dadurch wird der VUV-Bereich komplett ausgeschlossen.
Das Ergebnis? Man erhält weiterhin genug Wärme zum Aushärten von Harzen oder Trocknen von Fotolacken – doch es entstehen keine schädlichen chemischen Nebenprodukte. Es handelt sich dabei um einen saubereren Prozess, denn er wird von Anfang an so konzipiert – und nicht, weil man teure Filter nachträglich einbaut.
Wärme genau dort, wo sie benötigt wird
Die Konvektionsheizung ist wie das Versuchen, eine einzelne Erbse zu erwärmen, indem man die ganze Küche aufheizt – das ist Energieverschwendung.
Unsere IR-Lampen sind anders: Sie strahlen direkt auf das Substrat ab. Das geht sehr schnell. Dadurch kann die Trockenungsstation viel kleiner sein.
Achtung: Hochintensive IR-Strahlung ist sehr stark. Wenn das Substrat dünn ist, kann es bei falscher Handhabung verdreht werden. Sie sollten daher etwas Zeit investieren, um die Geschwindigkeit des Transportbands sowie den Abstand zur Lampe einzustellen, damit Sie die gewünschte Leistung erzielen, ohne das Material zu belasten.
Einfache Installation
Der beste Teil: Diese Lampen können einfach eingebaut werden. Man muss die gesamte Elektrik neu verlegen – sie funktionieren mit der vorhandenen Industriestromversorgung.
Da man nun nicht mehr mit Ozon zu kämpfen hat, müssen die Lampengehäuse auch nicht mehr aus besonders widerstandsfähigen Materialien hergestellt werden. Das spart Ihnen im Laufe der Zeit eine Menge Geld.
Tun Sie mir bitte den Gefallen und überprüfen Sie alle sechs Monate die Ausrichtung des Reflektors. Das dauert nur eine Minute – doch dadurch bleibt die Wärme gleichmäßig auf dem Wafer verteilt.