Hören Sie auf, Ihre Halbleiterwerkzeuge in „Öfen“ zu verwandeln!
Standard-Infrarotlampen haben ein Problem: Sie strahlen Wärme in alle Richtungen ab. Wenn man diese Lampen in einen engen Verarbeitungsräumlichkeiten unterbringt, wird diese 360-Grad-Wärmeabstrahlung zu einem echten Problem.
Der größte Teil dieser Energie erreicht den Wafer gar nicht erst. Stattdessen prallt sie gegen die Innenwände des Geräts. Dadurch wird das gesamte Gehäuse des Geräts zu einer Art „Radiator“. Das Ergebnis? Die Außenwände werden so heiß, dass sie den Bediener verbrennen können. Zudem müssen die Kühlsysteme extrem stark arbeiten, um mit der Wärmebelastung fertigzuwerden.
Der „goldene Trick“
Wir lösen dieses Problem, indem wir eine dünne Goldschicht auf die Rückseite der Quarzkapsel auftragen. Man kann sich das wie einen hochwertigen Spiegel für Infrarotlicht vorstellen. Anstatt dass die Wärme in den hinteren Teil des Raumes entweicht, wird sie vom Gold wieder nach vorne reflektiert. Dadurch entsteht ein konzentrierter Wärmestrahl, der genau dorthin gelangt, wo er benötigt wird. Dadurch wird der „Ofeneffekt“ im Inneren des Geräts fast sofort beseitigt.
Was das für Ihre Ausrüstung bedeutet
Wenn die Wärme nicht mehr überallhin strahlt, kann das Gehäuse Ihrer Ausrüstung endlich durchatmen. Sie müssen keine überdimensionierten Kühlsysteme oder starke Lüfter einbauen, nur damit die Außenwände des Gehäuses sicher anzufassen sind. Dadurch wird die gesamte thermische Konstruktion viel einfacher und effizienter.
Einige Dinge, auf die Sie achten müssen
Es gibt jedoch eine Einschränkung: Da die Wärme konzentriert wird, steigt die Temperatur auf der Zielfläche an. Sie sollten daher sicherstellen, dass Ihr Substrat diese zusätzliche Belastung aushalten kann, ohne zu verbiegen oder Beschädigungen zu erleiden.
Und wenn Sie Standardlampen durch goldbeschichtete Lampen ersetzen, achten Sie darauf, die PID-Einstellungen richtig einzustellen. Diese Lampen heizen sich sehr schnell auf. Wenn die Steuerungen nicht richtig eingestellt sind, können Temperaturen über den gewünschten Wert steigen.
Noch ein Tipp: Verwenden Sie Hochtemperaturlitzen und halten Sie die Reflektoren sauber. Ein wenig Staub auf dem Gold kann dazu führen, dass es Hotspots gibt – und das verkürzt die Lebensdauer der Lampe erheblich.