Hören Sie auf, Zeit mit dem Warten darauf zu verschwenden, dass der Ofen warm wird.
In der Welt der Halbleiterverarbeitung bedeutet jede Sekunde des Wartens im Grunde genommen Geldverlust für Sie.
Viele Betriebe nutzen immer noch Systeme mit Warmluftzirkulation. Das ist eine veraltete Methode: Man heizt die Luft auf und hofft anschließend, dass diese Luft das zu bearbeitende Bauteil erwärmt. Das ist langsam und unpräzise.
Wir machen es anders. Wir verwenden Goldreflektoren für Infrarotstrahlen. Anstatt mit der Luft zu arbeiten, treffen die Infrarotstrahlen direkt auf das Substrat. So entsteht ein gezielter Heizeffekt.
Warum Gold?
Die meisten Menschen verwenden Aluminiumreflektoren – doch das Problem dabei ist, dass Aluminium zu viel Energie aufnimmt. Gold hingegen reflektiert über 98 Prozent der Infrarotstrahlen zurück. Dadurch entsteht ein konzentrierter Heizeffekt. Die Wärmestärke liegt genau dort, wo sie benötigt wird – auf dem Wafer – ohne dass man die Energiekosten erhöhen muss.
Das Problem mit der Verzögerung
Wenn Sie schon einmal ein Warmluftsystem verwendet haben, kennen Sie sicherlich die Frustration durch die thermische Trägheit. Man ändert die Temperatureinstellung – und muss anschließend warten, bis der gesamte Raum die neue Temperatur erreicht hat. Das ist sehr zeitaufwendig.
IR-Lampen verhalten sich anders. Es gibt praktisch keine Verzögerung. Sobald man den Schalter umlegt, erreicht man die gewünschte Temperatur bereits nach wenigen Sekunden. Dadurch werden die Bearbeitungszeiten erheblich verkürzt – und außerdem wird Platz auf dem Boden eingespart.
Der Nachteil (denn es gibt immer einen)
Ich möchte Ihnen nicht weismachen, dass dies eine Lösung für alle Probleme ist. Hochintensive Infrarotstrahlen sind zwar sehr effektiv – doch man muss vorsichtig sein. Denn die Goldreflektoren konzentrieren die Wärme so stark, dass es zu Hotspots kommen kann, wenn die Entfernung nicht genau stimmt. Man kann einfach nicht „im Blinde fliegen“. Die Befestigungspunkte müssen bis ins Millimeter genau sitzen. Zu nah – und das Bauteil wird zerstört. Zu weit entfernt – und man beginnt von vorne.
Um Sicherheit zu gewährleisten, kombinieren wir diese Technologie normalerweise mit einem PID-Regler sowie Sensoren mit schneller Reaktionszeit. Dadurch wird verhindert, dass die Temperatur zu stark ansteigt – und man bleibt trotzdem schnell bei der Arbeit.