Как сохранить чистоту поверхности кристаллов во время процесса обработки (и сохранить здравый рассудок)
Если вы работаете в чистой комнате класса 100, вы уже знаете, как это сложно. Даже небольшое количество газов или частиц, выделяющихся от лампы, может испортить всю партию продукции. При проектировании отражателей и нагревательных ламп для обработки кристаллов мы ставим одну цель: обеспечить полную защиту поверхности кремния от любых загрязнений.
Секрет заключается в кварце
Для этих ламп мы используем синтетический кварц высокой чистоты. Почему? Потому что обычное стекло не выдерживает таких температур – оно трескается под действием теплового удара. Но кварц отличается: он подобен прозрачному окну для инфракрасного излучения, позволяя коротковолновому излучению проходить сквозь него без поглощения. Чтобы энергия доходила именно туда, где это необходимо, мы используем отражатели из кварца с точной обработкой. Таким образом энергия не тратится впустую, а направляется прямо на кристалл. Это эффективно и эффективно.
Как избежать загрязнений
У стандартных металлических отражателей есть один недостаток: они со временем начинают разрушаться, окисляться. В чистой комнате это катастрофа. Мы называем это явление «снегопадом» – это последнее, что нужно во время процесса обработки. Поэтому мы используем отражатели из кварца высокой чистоты. Они химически инертны, у них нет покрытий, которые могли бы отслаиваться, и нет металлов, которые могли бы ржаветь. Они просто остаются чистыми.
Компромиссы (то, о чем вам никто не говорит)
Высокая интенсивность инфракрасного излучения создает огромное количество тепла. Кварц может с этим справиться, но как насчет корпуса лампы? Это уже другая проблема. Корпус будет поглощать всю эту тепловую энергию. Если система охлаждения недостаточно мощная, контакты лампы могут повредиться. Если поток воздуха слишком слабый, это сокращает срок службы лампы. Мы спроектировали эти лампы так, чтобы они могли заменять существующие устройства без особых усилий. Просто подключите их, настройте расстояние до кристалла – и все готово. Вы получите стабильную температуру, а самое главное – полную отсутствие загрязнений.